판매용 중고 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #155729

응용 재료 엔두라 5500 (APPLIED MATERIALS Endura 5500) 은 혁신적인 개방형 장비 접근 방식을 통해 구리, 구리 합금을 포함한 고급 소재의 비용 효율적인 증착을 가능하게하도록 설계된 혁신적인 생산 원자로입니다. 이 원자로는 고온 및 공격적인 공정 화학 물질 (예: 플라즈마 에치, PVD 및 CVD 프로세스) 하에서 생산 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 엔두라 5500 (Endura 5500) 은 최대 500 ° C의 온도 제어를 갖춘 대형 가열 챔버를 특징으로하며, 처리 시간은 배치당 최대 60 분입니다. 이 원자로는 독점적 인 벡터화 (vectorization) 와 고급 균일성 제어 (unifority control) 를 통해 프로세스 균일성을 최적화하여 수율 및 제품 품질을 높이도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500은 Applied의 고유 한 iRTP (Inline Rapid Thermal Processing) 및 GUC (Global Uniformity Control) 기술을 포함한 다양한 증착, 에치 및 스퍼터링 기술을 통합합니다. 이 시스템은 광범위한 자동화된 프로세스 자동화 및 제어 기능을 갖추고 있어 모듈식 (modular) 엔드 투 엔드 (end-to-end) 구성이 가능합니다. 엔두라 5500 (Endura 5500) 은 선형 및 원형 처리 챔버를 모두 갖추고 있으며 다양한 웨이퍼 바이 웨이퍼 (wafer-by-wafer) 균일성 수율 및 공정 균일성을 제공 할 수 있습니다. 이 고급 원자로는 구성에 따라 최대 2000 옹스트롬/분 또는 2400 옹스트롬/민의 재료 증착률을 사용하여 한 번에 최대 3 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500은 독점적 인 sextupole-powered magnetic capinement를 사용하여 프로세스 가스를 제한하여 원자로 벽과의 반응을 줄입니다. 또한 Endura 5500 은 포괄적인 프로세스 모니터링 장치 (데이터 로깅 기능 포함) 와 모든 프로세스 매개 변수에 대한 단일 뷰 창 (single-view window) 과 간편한 설정 및 작업을 위한 웹 기반 원격 지원 시스템 (remote support machine) 을 갖추고 있습니다. 또한, 통합 Endura 관리 도구를 사용하여 생산 시설을 완전히 자동화 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500은 생산 효율성과 비용 효율성을 극대화하기 위해 설계된 다른 고급 소재, 구리 및 구리 합금 증착에 탁월한 정밀도 및 성능을 제공합니다. 이 혁신적인 원자로는 프로세스 우수성을 갖춘 매우 안정적이고 생산적인 처리 솔루션을 제공합니다.