판매용 중고 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #155131
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판매
ID: 155131
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
Non-SMIF, 8"
Automation online Component: No
Load lock: Narrow Body
Transformer: Short Body
Robot Type: HP
Serial No: 3033
Chamber Configuration (Chamber Type)
Chamber A: By pass, Narrow Body
Chamber B: Cool down, Wide Body
Chamber C: N/A
Chamber D: N/A
Chamber E: N/A
Chamber F: Orienter/Degas
Chamber 1: Ti, Narrow Body
Chamber 2: Al, Wide Body (TiN)
Chamber 3: Al, Narrow Body
Chamber 4: Ti, Narrow Body (Al)
Chamber Configuration (Heater/Power Type)
Chamber C: N/A
Chamber D: N/A
Chamber 1: 101, 20KW
Chamber 2: 101, 10KW
Chamber 3: 101, 10KW
Chamber 4: 101, 20KW+10KW
MFC Type: STEC
1 Compressor:
Cryo He Line: 50ft
Neslab with resistivity
Hoist: No
RF Rack
Cable Length: 50ft
Pump Type: None
System Rack: STD
1994 vintage.
APPLIED MATERIALS Endura 5500은 다양한 특수 재료를 생산하는 데 사용되는 최첨단 고출력 장비입니다. 원자로시스템 (Reactor System) 은 효율성과 생산성이 높은 고급 재료 합성 및 증착 솔루션을 제공하는 자동화된 플랫폼입니다. 엔두라 5500 (Endura 5500) 원자로는 여러 배치의 재료 합성 및 증착에 최적화되어 있으며, 다양한 연산자를 다른 매개변수에서 작업하여 공정을 매우 생산적이고 효율적입니다. 고성능 리니어 모터 (Linear Motor) 를 통해 빠르고 정확한 포지셔닝을 제공하며, 운영자가 쉽게 고급 기능을 수행할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS Endura 5500 드라이브는 반복 가능하고 정확한 이동을 위해 설계되어 안정적인 프로세스 동기화가 가능합니다. 엔두라 5500 (Endura 5500) 은 방의 신속한 대피 및 프로세스 반복성 및 정확성을 위해 대형 진공 챔버 (vacuum chamber) 및 최첨단 배기 장치 (exhaust unit) 로 설계되었습니다. 재료 증착 과정에서 비교할 수없는 정밀도와 제어를 제공하는 3D-CoC (3D-CoC) 머신을 통해 향상된 프로세스 제어를 제공합니다. 이 도구는 고급 (advanced) 알고리즘을 사용하여 즉석에서 이송 속도를 조정하여 재료 증착 문제에 대해 독특하고 강력한 솔루션을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500에는 Visualization, Analytics, Real Time Data Acquisition 툴을 제공하는 직관적인 사용자 인터페이스도 포함되어 있어 전체 프로세스 전반에 걸쳐 프로세스 제어 및 조작을 최적화할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스는 프로세스 정보를 그래픽 뷰 (graphical view) 와 테이블 뷰 (tabular view) 로 표시함으로써 유연성을 높이고 프로세스를 구성하고 모니터링하는 방법을 제어할 수 있습니다. 또한 프로세스의 반응과 진행 상황을 최신으로 추적할 수 있으며, 운영자는 개별 배치 (batch) 의 성능에 따라 조건 (condition) 을 수정하고 매개변수를 조정할 수 있습니다. 엔두라 5500 (Endura 5500) 은 금속에서 박막 증착 재료에 이르기까지 광범위한 재료를 사용하여 작동합니다. 향상된 프로세스 제어, 고출력 선형 모터 및 직관적 인 사용자 인터페이스를 통해 APPLIED MATERIALS Endura 5500은 재료 증착 프로세스에 대한 전례없는 속도, 정확성 및 데드 웨이트 반복성을 제공합니다.
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