판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Widebody loadlock for Endura #293651962

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 용 와이드 바디 (Widebody) 로드록은 다양한 기판에서 박막 재료를 균일 하게 증착 할 수있는 특수 설계 원자로입니다. 이 장비는 증착의 균일성을 극대화하고, 오염을 최소화하고, 박막 증착 과정에 경제적인 솔루션을 제공하기 위해 설계되었습니다. 로드 락 (Loadlock) 은 엔두라 박막 증착 시스템 (Endura thin film deposition system) 의 중요한 구성 요소입니다. 와이드 바디 로드 록에는 2 개의 로드 포트와 2 개의 대피/제거 포트가 있으며, 둘 다 프로세스 환경을 유지하기 위해 O 링 밀봉 된 통풍구로 탭됩니다. 로드 록 챔버 (loadlock chamber) 의 밑면은 장치 하단에 장착되며 기판 전송을위한 리프트 플레이트 (lift plate) 가 특징입니다. 가열 된 게이트 밸브는 기판 전송 중 공정 챔버의 오염을 방지합니다. 로드 락에는 2 피스 쿼츠 뚜껑이 장착되어 있으며, 프로세스 중단을 최소화하기 위해 간헐적으로 열리고 닫을 수 있습니다. 일단 뚜껑이 열리면, 진공 메커니즘 (vacuum mechanism) 이 맞물려 기판이 공정에 아무런 방해없이 챔버에 들어갈 수 있습니다. 로드 록 챔버는 오염을 예방하는 데 도움이되는 사전 혼합, 비 반응성 질소/아르곤 기반 대기로 둘러싸여 있습니다. 이중 가스 혼합물 (dual-gas mixture) 을 사용하면 질소 또는 아르곤 라인을 제거하지 않아도 되어 유지 관리 비용이 절감됩니다. 로드 록 챔버 내부는 내구성 RF 전원 공급 장치, 루비 쿼츠 창, 거친 컷 확산 배플로 코팅되어 균일 한 박막 증착을 보장합니다. 와이드 바디 로드 락은 엔두라 박막 증착기 (Endura thin film deposition machine) 를 위해 특별히 설계되었으며, 큰 기판 (300 x 300 mm) 에서 작은 기판 (몇 미크론) 까지 다양한 기판을 쉽게 처리 할 수 있습니다. 엔두라 (Endura) 용 AMAT 와이드 바디 (AMAT Widebody) 로드 락에는 얇은 필름 증착 기능 외에도 공정 챔버 (process chamber) 에 들어가는 부산물을 최소화하는 데 사용되는 배기 스택이 장착되어 있습니다. 이 배기 (exhaust) 스택은 안전하고 깨끗한 프로세스 환경을 유지하고, 일관된 박막 증착을 위한 최적의 프로세스 균일성을 보장합니다. 이 도구에는 또한 자산에 추가 보호 기능을 추가하는 눈물 방울 (teardrop) 모양의 뚜껑이 포함되어 있으며, 효율적이고 안전한 기판 전송이 가능합니다. APPLIED MATERIALS Widebody loadlock for Endura는 안정적이고 견고한 모델로, 효율성과 균일성을 고려하여 설계되었습니다. 이 장비 는 "박막 '의 오염 을 최소화 하고 균일 한 증착 을 극대화 하는 한편, 박막 증착 과정 을 위한 경제적 인 해결책 을 제공 하도록 설계 되었다. 첨단 기술과 내구성 구성 요소를 갖춘 Widebody loadlock for Endura는 박막 증착 요구에 이상적인 선택입니다.