판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9351211

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima 원자로는 반도체 및 기타 반도체 관련 기판에 사용하도록 설계된 최첨단 진공 증착 장비입니다. 이 시스템은 기존 기술과 비교하여 탁월한 처리량, 균일성, 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 사진 촬영, 에칭 (etching), 필름 성장 등 다양한 응용 프로그램에 사용하기에 적합합니다. 원자로는 독특한 웨이퍼 소스 디자인 (Wafer Source Design) 을 갖춘 정밀 단일 기구 (Single-cavity Unit) 로, 전체 기판에서 매우 반복 가능하고 균일 한 수평 형상을 특징으로합니다. 이 기계에는 또한 마이크로파 에너지 측정이 가능한 3 빔 광학 모니터링 도구가 있으며, 이는 최후의 1 마일 전력 결함을 감지 할 수 있습니다. AMAT Ultima 원자로는 표준 스퍼터 소스를 사용하여 물리적 증기 증착 (PVD) 을 수행 할 수 있습니다. 반응성 스퍼터링, 증발, 이온 도금 및 화학 증발 (CVD) 과 같은 대체 진공 공정을 수행 할 수 있으므로 더 큰 다재다능성을 가능하게합니다. 이 자산은 고급 프로세스 모니터링 (Process Monitor) 기능과 완벽한 데이터 분석/보고 기능을 갖추고 있습니다. 광학 방출 분광법, Auger 전자 분광법, X- 선 광전자 분광법 및 전자 에너지 손실 분광법을 포함한 다양한 현장 내 분광학 진단이 가능합니다. 이를 통해 증착 중에 전례없는 수준의 프로세스 제어가 가능합니다. 원자로는 또한 고급 프로세스 자동화 기능을 제공하여 보다 효율적인 멀티 런 (multi-run) 작업을 지원합니다. 빠른 프로세스 설정 및 최적화를 위한 자동화된 프로세스 최적화 (Automated process optimization) 기능과 내부 웨이퍼 (in-situ wafer) 특성을 위한 내장 도량형 툴이 포함되어 있습니다. 고속 동작 및 웨이퍼 처리 시스템은 빠르고 반복 가능한 프로세스를 허용합니다. 궁극적으로, APPLIED MATERIALS Ultima Reactor는 칩 제작 설비를 통해 생산 비용을 절감하고 생산량을 극대화할 수 있도록 설계된, 안정적이고 반복 가능한 프로세스 환경을 사용자에게 제공합니다. 통합 프로세스 기능, 고급 프로세스 진단 및 자동화를 통해 사용자는 뛰어난 처리량, 균일성, 신뢰성을 얻을 수 있습니다. 또한 현대 반도체 응용프로그램의 요구에 맞춘 다양한 기능을 제공합니다 (영문).