판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9315107

AMAT/APPLIED MATERIALA Ultima는 반도체 레벨 에칭 및 재료 처리를 위해 설계된 고급 리에 이온 에칭 (RIE) 도구입니다. 이 제품은 집적 회로 (integrated circuit) 의 제조 및 개발, 고급 기술 및 재료 처리 (advanced technology and materials processing) 분야에서 사용됩니다. AMAT Ultima는 고정밀 대형 진공 밀폐 챔버에 구축되었습니다. 챔버 내부에는 안전하고, 깨끗하고, 밀봉된 환경에서 다양한 마이크로 머시닝 프로세스가 발생합니다. 이 도구를 사용하여 수행 할 수있는 많은 공정 중에는 화학 증기 증착 (CVD), 화학 기계 평면 화 (CMP), 딥 에치, 메사 에치, 유전체 에치 및 텅스텐 화학 기계 연마 (CMP) 가 있습니다. 제조 중인 제품 유형에 따라, 챔버 (chamber) 의 환경은 기판의 특정 재료 특성에 맞게 사용자 정의되어 있습니다. APPLIED MATERIALTA는 기존 RIE 시스템에 몇 가지 장점이 있습니다. 울티마 (Ultima) 는 탁월한 정밀도와 속도를 통해 기존 RIE 시스템보다 더 복잡한 기능을 불러올 수 있습니다. 약실은 더 정확하고 더 균일 한 재료를 생산합니다. 처리 할 수 있는 온도 의 범위 도 더 넓기 때문 에, 보다 공격적 인 과정 (예: 건조 에칭 (dry etching) 등) 을 사용 할 수 있다. AMAT/APPLIED MATERIALA Ultima는 또한 여러 가지 고급 안전 및 모니터링 시스템을 사용합니다. 인간 운전자 들 은 "에칭 '과정 을 더 잘 제어 하고 감독 할 수 있도록, 약실 밖 에서 장치 를 감시 할 수 있다. 여러 개의 센서가 챔버에 통합되어 챔버 압력 (chamber pressure), 기판 온도, 에치 속도 (etch rate) 및 공정 가스 구성 (process gas composition) 과 같은 프로세스 매개변수를 모니터링합니다. AMAT Ultima는 강력하고 유연하며 신뢰할 수있는 반응성 이온 에칭 툴로, 현대 반도체, MEMS 및 의료 기기 응용 프로그램에서 뛰어난 결과를 만들 수 있습니다. 다양한 에치 유형 (etch type) 과 다양한 재료를 처리하는 기능은 다른 에칭 공구와 분리되어 있습니다. 더 작고, 빠르고, 복잡한 설계에 대한 수요가 증가함에 따라 APPLIED MATERIALS Ultima (APPLIED MATERIALS Ultima) 는 비용과 시간을 절감하는 동시에 뛰어난 결과를 얻을 수 있습니다.