판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9314618
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AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima는 정교한 원자층 증착 (ALD) 원자로로, 다양한 기판에 얇은 층의 물질을 증착하도록 설계되었습니다. AMAT 울티마 (AMAT Ultima) 는 현장 평가에 사용할 수있는 연구 개발 도구로서, 매우 얇은 층을 웨이퍼, 나노 입자, 파우더 등의 기판에 안정적으로 증착 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALTA는 유전체, 산화물, 질화물, 금속, 신기한 장치 재료 등 다양한 박막 응용 분야에 최적화되었습니다. 울티마 ALD 원자로 (Ultima ALD reactor) 는 자율 제한 표면 제어 화학의 원리를 통해 작동하는데, 이는 가공 된 기질에 연속적인 전구체 분자의 연속적인 단층의 흡착에 기초한다. 이 고유 한 원자로는 고도로 제어 가능한 진공 챔버, 전구체를 정확하게 전달하기위한 고정밀 질량 흐름 컨트롤러 (MFC), 현장 공정 모니터링을위한 쿼츠 크리스탈 마이크로 밸런스 (QCM), 멀티 레이어 및 패턴 처리 용 고급 회전 기판 홀더, 고속 로딩 cryopel. AMAT/APPLIED MATERIALA Ultima는 프로세스 압력, 가스 흐름 속도, 온도, 반응 시간 및 증착 주기 수와 같은 반응 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 원자로 (Reactor) 의 고급 제어 (Advanced Control) 기능을 통해 사용자는 증착 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으며, 현장의 각기 다른 증착 과정을 평가할 수 있습니다. 또한, 자동 반응 주기는 신뢰할 수 있고, 반복 가능한 결과를 보장하며, 시스템을 쉽고 효율적으로 사용할 수 있습니다. AMAT Ultima가 사용하는 ALD 프로세스는 원자적으로 매우 정확합니다. 이러 한 정확성 은 넓은 영역 의 균일 한 층 을 증착 시키고, "패턴 '화 된 여러 기판 을 증착 할 수 있게 해 준다. APPLIED MATERIALS Ultima (APPLIED MATERIALS Ultima) 에 의해 증착 된 레이어는 본질적으로 매우 얇고 등각 적이므로 복잡한 3 차원 구조를 고도의 반복 성과 정확도로 만들 수 있습니다. 울티마 (Ultima) 는 리서치 환경과 제조 환경 모두에서 박막 증착을 위한 매우 다양하고 귀중한 도구입니다. 광범위한 어플리케이션에서 매우 등각 된 박막 (thin film) 을 정확하고 안정적으로 배치 할 수있는 능력은 ALD 프로세스에서 정밀도, 제어, 정확성을 찾는 사람들에게 완벽한 선택입니다.
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