판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9314611

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactor는 업계에서 가장 어려운 에칭 요구 사항을 해결하기 위해 설계된 최첨단 플라즈마 에칭 원자로입니다. 다양하고 강력한 이 도구는 보드 레벨 및 웨이퍼 레벨 프로세싱을 모두 위한 고급 제어, 속도, 정확성을 제공합니다. 플라즈마 에칭 및 장비 제어에 대한 AMAT 광범위한 지식의 결과로 만들어진 AMAT Ultima (AMAT Ultima) 는 독보적인 정밀도 및 반복성으로 결과를 안정적으로 만들 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Ultima 는 수평, 모듈식 설계를 통해 고객의 구체적인 요구에 따라 시스템을 구성할 수 있습니다. 설계의 또 다른 이점은 모듈식 (modular) 측면으로 인해 유지 보수 비용이 크게 절감된다는 점입니다. Ultima는 뛰어난 제어, 반복성 및 신뢰성을 제공하는 정전기 척 (ESC) 을 사용하여 제작되었습니다. 이 장치는 4, "6," 8 "및 12" 기판을 포함한 완전한 범위의 기판 옵션을 제공합니다. 또한 최신 RF 증폭기 (RF Amplifier) 기술을 통해 에칭 프로세스 동안 탁월한 제어, 균일성 및 프로세스 반복성을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima에는 VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) 및 정밀도 향상을위한 방향 에칭과 같은 독특한 웨이퍼 평면 기능이 제공됩니다. planarization, plasma doping 및 gap filling과 같은 고도로 통합 된 프로세스 기능도 사용할 수 있습니다. 다른 기능으로는 비용 효율적인 다중 패턴화를 위한 대기 플라즈마 처리, 고해상도 리소그래피를위한 고해상도 처리, 비용 효율적인 통합을위한 유연한 프로세스 챔버 불안정성 등이 있습니다. 또한 AMAT Ultima 는 통합 웹 기반 제어 및 모니터링 시스템을 통해 고급 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 이 툴을 통해 고객은 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 웨이퍼 맵 (wafer map) 을 손쉽게 모니터링할 수 있으며 모든 중요한 프로세스 매개변수가 이상적인 범위 내에 유지되도록 할 수 있습니다. 또한 사용자는 세계 어디에서나 쉽게 원격으로 매개변수를 조정할 수 있습니다. 전반적으로, APPLIED MATERIALS Ultima는 최첨단 기술과 기능을 통해 모든 플라즈마 에칭 (etching) 요구 사항을 해결할 수 있는 완벽한 도구입니다. 탁월한 성능, 뛰어난 정확성 및 반복성, 비용 효율적인 통합 및 고급 제어 기능을 제공합니다. 모든 에칭 요구 사항을 충족하는 완벽한 기능을 갖춘 경제적인 솔루션입니다.