판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9314609

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactor는 다양한 어플리케이션에서 높은 처리량, 높은 생산성 에칭을 가능하게 하는 다용도, 작은 설치 공간, 이중 소스 플라즈마 에칭 장비입니다. AMAT Ultima Reactor는 ARGA (Advanced Residual Gas Analysis) 기술을 사용하여 에칭을위한 깨끗한 환경을 제공하고 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어하여 반복 가능한 결과를 제공합니다. 시동 후, APPLIED MATERIALS Ultima의 각 프로세스 챔버는 후속 에치 레시피를 최적화하기 위해 사전 설정됩니다. 이 프로세스는 고품질 결과, 반복성 및 생산성을 보장합니다. Ultima의 유연한 아키텍처를 통해 여러 소스, 생성기 유형, 고주파 (High Frequency) 전원 공급 장치 및 선형 흐름 구성으로 구성할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima는 또한 기판의 효율적인 로드 및 언로드를 위해 빠른 로드 처리 시간을 가능하게하도록 설계된 2 개의 로드 잠금 시스템을 갖추고 있습니다. 로드 락에는 고순도 환경을 위한 가스 스크러빙 (gas scrubbing) 기능과 일련의 자동화 프로세스 (automated process) 가 포함되어 있어 사용자 개입을 최소화하여 더욱 빠르고 빠르게 에칭할 수 있습니다. AMAT Ultima는 프로세스를 단순화하도록 설계된 고급 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 제어 장치 (Control Unit) 에는 소프트웨어 및 그래픽 방식으로 풍부한 GUI 기반 인터페이스가 제공되며, 이를 통해 사용자는 시스템을 작동할 수 있는 유연성과 사용 편이성을 모두 누릴 수 있습니다. 이 소프트웨어는 다양한 언어를 지원하므로 사용자 친화적 인 인터페이스 중 하나입니다. 고성능 정전기 척 (ESC) 기술을 갖춘 APPLIED MATERIALS Ultima는 에칭 중에 뛰어난 균일 기판 적용 범위를 제공합니다. 고정밀 재순환기 밸브 공구는 챔버 전체에 균일 한 가스 배출을 보장하며, 기본적으로 최적의 에치 성능을 보장하기 위해 균일 한 압력 및 플라즈마 농도를 유지합니다. 울티마 (Ultima) 는 또한 에칭 중 가스 혼합물을 더 잘 제어 할 수있는 가스 분사 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 엔지니어는 레시피를 특정 요구에 맞게 조정하고, 가스 사용률 (gas usage and etch rate) 을 최적화하여 비용을 더욱 절감할 수 있습니다. 결론적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima는 다재다능한 최첨단 이중 소스 플라즈마 에칭 자산입니다. 첨단 기능 및 정확한 제어 기능을 통해 깨끗하고 효율적인 에칭 (etching) 환경을 제공하므로 복잡한 에칭 (etching) 요구 사항을 충족해야 하는 정밀도를 신속하게 달성할 수 있습니다. AMAT Ultima (AMAT Ultima) 는 경쟁력 있는 가격으로 고정밀 에칭을 구현하는 매우 안정적이고 비용 효율적인 방법입니다.