판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9163587

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactor는 초고밀도 필름 증착 응용 프로그램 및 대용량 부품 생산을 위해 설계된 고성능 PVD (Physical Vapor Deposition) 장비입니다. 이 원자로는 태양 광 발전, 통신, LED, 디스플레이 및 기타 응용 프로그램과 같은 인프라 응용 프로그램의 대규모 구성 요소 생산에 적합합니다. AMAT Ultima 원자로는 박막 두께에서 필름 평면도 및 총 반사도 균일성에 최적화되었습니다. 이 때문 에, 도자기, 금속, 화합물 의 고도 의 균일 한 층 이 필요 한 응용 프로그램 에 이상적 인 선택 이 된다. 원자로는 매우 정밀한 필름 제어 시스템, 공정 챔버 (process chamber) 로 구성되며, 이는 본질적으로 진공 돔, 극한 온도에 도달 할 수있는 하단 히터 어셈블리 및 탑재 된 고리 형 소스 스퍼터 모듈처럼 작동합니다. 원자로에는 또한 로터리 (rotary) 다중 스핀들 (spindle) 로드 락 (load lock) 이 포함되어 있어 진공 상태에서 챔버를 유지하면서 기판의 적재 및 하역에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 자동 칩 로딩 장치 (chip loading unit) 와 로봇 처리 장치 (robotic handling machine) 도 대형 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Ultima Reactor는 시간당 최대 30um의 두께를 자랑하며, 침전율은 최대 180 분입니다. 이 툴은 고급 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 기술과 통합되어 운영자가 제품 품질 (Quality) 을 향상시키면서 프로세스 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있게 해 줍니다. 울티마 (Ultima) 원자로의 고효율 설계를 통해 정밀도, 균일성을 갖춘 대용량 부품을 생산할 수 있습니다. 프로세스 엔지니어는 고급 프로세스 제어 (process control) 시스템을 통해 필요에 따라 매개변수를 모니터링, 추적, 조정할 수 있으며, 이를 통해 프로세스 최적화와 처리량을 극대화할 수 있습니다. 자산의 고급 진공 (advanced vacuum) 및 효율적인 가스 흐름 시스템은 균일 한 재료 층을 생산하기위한 안정적이고 깨끗한 환경을 촉진합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactor는 태양 광, 통신, LED, 디스플레이 및 기타 여러 응용 프로그램을위한 정밀 재료 계층의 대용량 생산을위한 이상적인 도구입니다. 최적화된 제작률, 고급 프로세스 모니터링 기능, 계층의 균일 한 생산으로, AMAT Ultima Reactor는 대규모 필름 증착 작업에 이상적인 선택입니다.