판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9116892

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactor는 고급, 저온, 박막 트랜지스터 (TFT) 기반 평면 패널 디스플레이 응용 프로그램 제조를 위해 설계된 고정밀 고효율 공정 도구입니다. AMAT Ultima 일련의 프로세스 도구의 주력 모델입니다. APPLIED MATERIALS Ultima Reactor는 박막 증착 및 에칭 프로세스를 위해 설계되었습니다. 기판에 여러 가스를 동시에 공급할 수있는 표준 단일 챔버 시스템 (single-chamber system) 이 특징입니다. Ultima Reactor의 디자인에는 특허 RF 플라즈마 생성 시스템, 정밀 기판 클램핑을위한 정전기 척, 자동 피드백 시스템 및 통합 온도 컨트롤러가 포함됩니다. 기판은 척 (chuck) 표면에 고정되고 원자로 챔버 내의 플라즈마와 직접 반응한다. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactor는 5 나노미터만큼 얇은 필름을 증착하거나 에칭 할 수 있으며, 5 nm 이상의 균일 성을 달성 할 수 있습니다. 또한 실내 온도 (20-200-C) 에서 알루미노 실산 염 및 금속 산화물 필름을 퇴적시키고 에칭 할 수 있습니다. 원자로는 또한 다양한 압력에서 다양한 가스 및 액체 화학 물질을 처리 할 수 있으며, 고밀도 플라즈마 (plasma) 에서 물질의 증착을 처리 할 수있다. 또한, 원자로는 모듈 식 설계를 가지고 있으며, 특정 프로세스에 맞게 사용자 정의 할 수 있습니다. AMAT Ultima Reactor는 사용이 쉽고 생산이 효율적입니다. 다결정 실리콘, 플루오린화 된 비정질 실리콘, 금속 산화물, 알루미노 실레이트 필름 등 다양한 얇은 필름의 증착 및 에칭을위한 신뢰할 수 있고 반복 가능한 방법을 제공합니다. 원자로는 또한 유리, 폴리 이마이드, 석영과 같은 다양한 기판 재료와 호환됩니다. 마지막으로 APPLIED MATERIALS Ultima Reactor는 긴 수명 동안 안정적인 프로세스 성능을 제공합니다.