판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #293758482

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima는 광전자 및 전원 장치의 제작을 위해 설계된 고성능 에피 택시 원자로입니다. AMAT Ultima는 유전체, 폴리 실리콘 및 III-V 화합물의 증착, 광학 트림 에칭, 산화물 에칭, 금속 리프트 오프 및 포토 esist 스트립을 포함한 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Ultima Reactor는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 사용하여보다 효율적인 이온화와 기판 온도에 대한 제어 개선이 가능합니다. 이 로 말미암아 반응 "파라미터 '를 정확 히 제어 할 수 있게 되어 복잡 한" 마이크로' 및 "나노 '구조 장치 를 구성 할 수 있게 된다. 울티마 (Ultima) 에는 아크 감지, 플라즈마 이미징, 산소 형광 모니터링 등 여러 가지 고급 진단 도구가 장착되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima 원자로는 고급 웨이퍼 처리 시스템도 갖추고 있습니다. 이 시스템은 최대 12 인치 직경의 웨이퍼 (wafer) 를 처리하고, 더 큰 처리 배치가 필요한 어플리케이션을 위해 여러 웨이퍼를 한 번에 처리할 수 있습니다. AMAT 울티마 (Amat Ultima) 는 독특한 패턴 화 된 "도너 (donor)" 웨이퍼를 사용하여 배치 된 재료를 대상 웨이퍼로 전송합니다. 그런 다음 패턴 공여자 웨이퍼 (patterned donor wafer) 는 교차 오염을 방지하기 위해 신선한 웨이퍼로 대체됩니다. APPLIED MATERIALS Ultima 원자로는 프로세스 옵션에서도 다재다능합니다. 박막 증착, 열 산화, III-V 재료의 증착, 혈장 강화 화학 증발 (PECVD), 스퍼터링 및 금속 스퍼터링과 같은 다양한 표준 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한, Ultima는 이종 구조, 다중 계층 스택, superlattices 등 다양한 장치 구조를 제작하는 데 사용될 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima 원자로는 또한 운영자에게 안전하고 효율적인 작업 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 원자로는 ATEX 지침, TÜV 표시, Rohs 지침 및 기타 적용 가능한 규정을 포함한 여러 안전 및 환경 요구 사항을 충족하도록 인증되었습니다. 따라서, 운영자는 AMAT Ultima를 사용할 때 안전하고 안정적인 운영을 보장 할 수 있습니다.