판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #9255627

AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X
ID: 9255627
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
HDP CVD System, 12" 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X Reactor는 고급 어플리케이션을 위한 고품질 박막 생산을 위해 설계된 세계적으로 유명한 다목적 증착 장비입니다. 다양한 고급 (advanced) 기능을 통해 분석 및 운영 애플리케이션에 적합합니다. AMAT Ultima X 시스템은 소스, 주 증착실 및 기판 보유자의 3 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 소스는 순도가 높은 석영 튜브로, 퇴적 할 재료가 들어 있습니다. 이 물질은 가열되어 온도를 처리하며 최대 600 ° C의 온도를 견딜 수 있습니다. 주 증착실 (main deposition chamber) 은 다른 두 컴포넌트를 수용하는 밀폐 된 공간이며, 위험한 오염 수준에 대한 부주의한 노출을 방지하기 위해 설계되었습니다. 증착실 바닥 에 위치 한 기판 "홀더 '는 증착" 기판' 을 보유 하고 있다. 코팅의 균일성을 촉진하기 위해 수동으로 조작 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Ultima X의 중심에는 AMAT 특허를받은 Ultima Plus Magnetron Source가 있습니다. 이 고급 전원 공급 장치 (advanced power supply) 는 증착실의 스퍼터링 (sputtering) 및 반응성 증발 (reactive evaporation) 과 같은 프로세스에 필요한 전원 및 제어를 제공합니다. 이 동일한 소스는 또한 단계 처리 제어 (steped process control) 와 플라즈마 제어 (plasma control) 의 속도를 유지하여 프로세스 안정성 및 반복성을 향상시킵니다. 울티마 X (Ultima Plus Magnetron Source) 외에도 울티마 X (Ultima X) 에는 특정 응용 프로그램의 프로세스 매개 변수를 조정하는 데 사용되는 일련의 추가 구성 요소도 포함되어 있습니다. 여기에는 공정 매개변수 (process parameter) 가 증착 과정에서 정확하게 제어되고 유지되도록 하는 데 사용되는 일련의 온도 컨트롤러, 모니터, 소프트웨어가 포함됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X Reactor는 다양한 고품질 박막 증착 응용 프로그램에 적합한 고급, 다기능 증착 장치입니다. AMAT Ultima X는 고급 소스, 증착실 (deposition chamber) 및 기판 처리 기능을 결합하여 높은 증착 속도에서 탁월한 균일성을 지닌 박막 (thin film) 을 만드는 맞춤형 및 강력한 솔루션을 제공합니다. 수작업으로 작동하거나 일련의 자동화된 프로세스 매개변수 (automated process parameter) 와 정교한 모니터링 시스템 (monitoring system) 을 사용하여 작업할 수 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Ultima X는 모든 박막 증착 요구를 충족하는 안정적이고 효율적인 솔루션입니다.
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