판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #9249285
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판매
ID: 9249285
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
HDP CVD System, 12"
(2) Load ports
FI Alignment: FI Alignment fixtures
Atmospheric robots: YASKAWA XU-RCM6841
Monitors: Chase type (Rack)
Slit valve:
(2) Parker AD276510A
(3) VAT A-728585
Transfer chamber robots: STD Reach dual blade robot (Clear Lid)
Chiller: SMC INC-498-011C
Chamber A:
TMP: SHIMADZU TMP-H3603LMC-A1
Gas ring: 36
RPC: AX7670
Process Kit
Chamber B:
TMP: EDWARDS STP-XH3203P
RPC: AX7670
Process Kit
Chamber D:
TMP: EDWARDS STP-XH3203P
Process Kit
RF Generator type:
(6) MKS Spectrum 11002
(3) MKS Spectrum 10513
Gas configurations:
Chamber A:
Gas Size
Line 1 O2 1,000
Line 2 H2 1,000
Line 3 He 600
Line 4 SiH4 400
Line 5 Ar 1,000
Line 6 He 600
Line 7 H2 1,000
Line 8 SiH4 50
Line 9 Ar 50
Line 10 NF3 400
Line 11 NF3 5,000
Line 12 Ar 3,000
Chamber B:
Gas Size
Line 1 O2 1,000
Line 2 H2 1,000
Line 3 He 600
Line 4 SiH4 400
Line 5 PH3 20
Line 6 Ar 1,000
Line 7 PH3 10
Line 8 SiH4 50
Line 9 Ar 50
Line 10 He 600
Line 11 NF3 3,000
Line 12 Ar 3,000
Chamber D:
Gas Size
Line 1 O2 1,000
Line 2 H2 1,000
Line 3 He 600
Line 4 SiH4 400
Line 5 PH3 20
Line 6 Ar 1,000
Line 7 PH3 10
Line 8 SiH4 50
Line 9 Ar 50
Line 10 He 600
Line 11 NF3 3,000
Line 12 Ar 3,000
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X는 웨이퍼 및 기타 기판에서 재료 층의 증착에 사용되는 원자로입니다. 그것 은 반도체 산업 에 사용 하도록 설계 되었으며, 오늘날 사용 할 수 있는 가장 믿을 만한, 정확 하고, 생산적 인 원자로 중 하나 로 여겨지고 있다. "깨어라!" ( AMAT Ultima X 원자로는 화학 증기 증착 (CVD), 물리적 증기 증착 (PVD), 원자층 증착 (ALD) 등과 같은 광범위한 증착 공정을 위해 제작되었습니다. 그것 의 설계 는 여러 "레벨 '의 가열 을 가진 가열 된 절연" 챔버' 로 이루어져 있어서 재료 의 정확 한 증착 을 가능 케 한다. 공정 요구사항에 따라 2 ~ 8 개의 챔버가 있으며, 각 챔버에는 최적의 결과를 위해 온도, 압력, 가스 유량을 조절하는 배달 장비 (delivery equipment) 가 장착되어 있습니다. APPLIED MATERIALS Ultima X는 높은 수준의 성능과 안정성을 제공합니다. 낮은 열 질량과 결합 된 고온 기울기 (high temperent gradient) 는 높은 증착률을 가능하게하여 공정 시간을 최대 40% 줄일 수 있습니다. 고급 디자인은 또한 저온 균일성, 저열 드리프트 및 고수명 성능을 가능하게합니다. Ultima X는 또한 CIP (Clean-in-place) 및 RST (Rapid Solution Transfer) 기능을 옵션으로 제공하여 빠르고 효율적인 처리를 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X는 또한 장치 효율성과 안정성을 극대화하는 고급 제어 시스템을 제공합니다. 통합 제어기 (Integrated Control Machine) 는 고성능 (HPI) 및 유연성을 위해 설계되었으며, 각 애플리케이션의 특정 요구에 따라 공구의 작업을 사용자 정의할 수 있습니다. 여기에는 현장 진단 및 교정, 고속 동기화, 통합 가스 흐름, 온도 조절 등의 기능이 포함됩니다. 전반적으로 AMAT Ultima X는 반도체 산업의 증착 공정을 위해 설계된 고급, 신뢰성, 고성능 원자로입니다. 높은 증착율, 낮은 열 드리프트 (thermal drift) 및 통합 제어 자산 (integrated control asset) 을 통해 까다로운 프로세스에서도 정확하고, 정확하며, 일관된 결과를 얻을 수 있습니다.
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