판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #293754394

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X Reactor는 전례없는 통일성 (unifority of the deposition) 을 가진 박막을 퇴적시키는 데 사용되는 아트 툴의 상태입니다. 초고 진공 기술, 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 플라즈마 소스 및 고급 프로세스 제어를 사용하여 처리량 및 최대 프로세스 신뢰성을 갖춘 퇴적된 박막의 성능 및 두께 균일성을 나노 미터 수준의 확대 할 수 있습니다. AMAT Ultima X 원자로는 조정 가능한 압력 제어, 이중 영역 웨이퍼 회전 및 고급 프로세스 도량형을 통해 완전하게 자동화된 프로세스 시퀀싱 및 닫힌 루프 프로세스 제어를 제공합니다. 이를 통해 가장 이상적인 작업 조건이 달성되어 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. ECR 플라즈마 소스는 균일하고 에너지가 높은 산소 혈장을 제공하며, 에칭, 산화, 침착, 어닐링 및 필름 수동화를 포함한 광범위한 증착 과정을 허용하는 넓은 공정 창을 가지고 있습니다. APPLIED MATERIALS Ultima X 원자로는 또한 빠르고 안정적인 웨이퍼 로딩을 허용하는 교환 가능한 선형 동작 단계를 특징으로합니다. 또한 프로세싱 챔버 (processing chamber) 간 효율적인 웨이퍼 전송을위한 전송 챔버 (transfer chamber) 를 갖추고 있어 높은 수준의 프로세스 유연성을 제공합니다. 울티마 X (Ultima X) 원자로는 또한 여러 프로세스를 병렬로 실행할 수 있으며, 처리량이 많고 처리 유연성이 뛰어납니다. 이 시스템은 단일 챔버에 최대 8 개의 프로세스를 수용할 수 있으며, 이 프로세스는 여러 웨이퍼 크기에 맞게 구성할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X Reactor는 저온 강착 및 고온 처리를 모두 제공하여 프로세스 성능 저하 없이 초저하 강착 온도를 제공합니다. 이를 통해 높은 증착율에서 안정적이고 일관된 증착이 가능합니다. AMAT Ultima X (Ultima X) 원자로는 최고 수준의 프로세스 제어, 반복성, 균일성을 제공하는 최첨단 툴로서, 높은 수준의 처리량과 유연성을 제공합니다. 그것 은 "박필름 '의 증착 에 있어서 가장 신빙성 있고 재현 할 수 있는 결과 를 얻기 위한 필수적 인 도구 이다.