판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima Plus #9256871

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Plus는 고급 재료 가공 응용 분야를 위해 설계된 차세대 화학 증기 증착 (CVD) 원자로 장비입니다. 이 다재다능한 직장 시스템은 금속, 반도체, 산화물, 질화물, 자기/강유전체 필름과 같은 다양한 물질의 배치 처리를 가능하게합니다. 이 회사는 Ultima® 도구의 향상된 버전입니다. 이 Rector의 디자인은 고효율 재료 난방, 균일 한 플라즈마 성능, 프로세스 제어 혁신의 통합 조합을 특징으로합니다. 석영 원자로에는 2 개의 가장자리 차폐 플라즈마 소스, RF 발전기로 구동되는 이중 서셉터 및 가열 된 리프트 핀이 포함됩니다. 리프트 핀은 감수기에서 원자로의 가스 박스 (gas box) 로 가열 된 웨이퍼 (wafer) 를 균질하게 옮길 수 있도록 설계되었습니다. AMAT Ultima Plus의 모터 컨트롤러 (motor controller) 를 사용하면 감지기 (susceptor) 와 가스 상자 사이의 거리를 세밀하게 조정하여 처리 공간을 조정할 수 있습니다. 또한 "플라즈마 '원자로 의 중앙 에 있는" 웨이퍼' 의 위치 뿐 아니라 "웨이퍼 '의 온도 도 정확 하게 조절 할 수 있다. 이 원자로는 실온에서 600 ° C까지의 다양한 공정 온도를 가진 저압 및 다중 구역 기능을 가지고 있습니다. 또한 GaN, 다이아몬드, 탄소 나노 튜브 등의 재료에 대한 저압 처리를 제공하며, 고압 처리가 적합하지 않은 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Ultima Plus는 in-situ ellipsometry, Raman 분광법 및 reflectometry와 같은 진단 프로세스가 표준으로 제공됩니다. 또한 멀티 튜브로드 락, 스테인리스 스틸 벨로우, 4 개의 마그네트론 바이어스 플라즈마 소스, 강력한 펄스 변조 플라즈마 소스, 자동 작동 컨트롤러 및 진공 장치가 있습니다. 이 기계는 오염 가능성을 최소화하면서 처리량을 최적화하도록 설계되었습니다. Ultima Plus를 사용하면 시간, 압력, RF 전원, 온도 등 고객이 정의한 매개변수로 프로세스를 빠르고 정확하게 제어하여 최적의 레시피를 정확하게 전화 걸을 수 있습니다. 원자로에 포함 된 고급 안전 시스템 (Advanced Safety Systems) 은 안전한 작동을 보장하고 모든 유형의 오염으로부터 프로세스 환경을 보호합니다.