판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima HDP #9315128

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima HDP (High Density Plasma) 원자로는 고급 마이크로 전자 회로 및 장치를 제작할 수 있도록 설계된 최첨단 공정 도구입니다. 플라즈마-테름 (Plasma-Therm) 과 제휴하여 개발 된 AMAT Ultima HDP 원자로는 새로운 finFET 및 듀얼 게이트 아키텍처를 포함하여 광범위한 재료 및 장치의 처리량을 높입니다. APPLIED MATERIALS Ultima HDP 원자로는 고밀도 플라즈마 (HDP) 소스와 쿼츠 챔버 본체로 둘러싸인 다단계 캐스케이드 플라즈마 방전 챔버를 결합하고 냉벽 건조 공정 진공 장비로 대피합니다. 이러한 기술 조합을 통해 가장 까다로운 재료와 디바이스를 처리할 수 있습니다. Ultima HDP는 Ar, H2, N2, O2 및 H2O를 포함한 광범위한 가스를 반응시킵니다. 양극 전기 바이어스와 결합 된 광범위한 가스를 통해 화학 및 물리적 처리 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있으며, 이를 통해 Si, SiGe, SiC, GaAs 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 울티마 HDP (Ultima HDP) 원자로에는 종합적인 진단 기능 세트와 실시간 모니터링 시스템이 장착되어 있어, 실행 중에도 프로세스 상태를 모니터링할 수 있습니다. 실시간 모니터링 장치에는 가스 샘플링, 입자 계산, 압력 모니터링, 온도 모니터링, 전기 흐름 및 바이어스 모니터링이 포함됩니다. 이 실시간 모니터링 시스템을 사용하면 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 조정하고 최적화하여 프로세스 반복성과 성능을 향상시킬 수 있습니다. 가스 투여 도구 (gas dosing tool) 는 또한 프로세스 화학의 제어를 개선하고 가스 사용률의 효율성을 향상시킵니다. 또한 AMAT Ultima HDP 원자로는 지능형 안전 시스템 덕분에 향상된 안전 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 가스 누출, 압력이나 온도의 갑작스런 변화, 또는 전력 급증 시 자동 차단 (automatic shut-off) 이 포함됩니다. 자산 (asset) 은 비상 사태가 발생할 경우 운영자에게 경고를 주며, 프로세스 안전을 보장하기 위해 필요한 조치를 취할 수 있습니다. 요약하자면, APPLIED MATERIALS Ultima HDP 원자로는 고급 마이크로 전자 회로 및 장치를 제작할 수있는 최첨단 공정 도구입니다. 플라즈마-테름 (Plasma-Therm) 과의 파트너십과 함께 고밀도 플라즈마 소스와 캐스케이드 플라즈마 방전 챔버 (Cascaded Plasma Discharge Chamber) 의 조합은 Ultima HDP를 동급 최고의 처리 도구로 만듭니다. 종합적인 진단 및 실시간 모니터링 모델 (monitor model) 을 통해 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하고 프로세스 반복성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 안전 (Safety) 기능이 향상되어 긴급 상황의 경우 프로세스 안전을 보장합니다.