판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima HDP #293797292

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima HDP 원자로는 얇은 필름의 플라즈마 증착 및 에칭에 사용되는 플라즈마 처리 실입니다. 정밀 박막 증착 및 에칭 (etching) 프로세스에서 고품질의 균일성과 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. HDP 원자로에는 ECR (Advanced Electron Cyclotron Resonance) 자기장이 장착되어 있으며, 넓은 지역에 균일 한 플라즈마 에칭 및 증착을 제공합니다. ECR 은 "가스 '분자 를 이온화 하고 가속 시키는 균일 한 전기장 을 만들어 내며, 보다 일관성 있는 에칭 (etching) 과 증착 (deposition) 을 가진 고도 의 균일 한 혈장 을 만들어 낸다. HDP 원자로 (HDP Reactor) 는 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되며, 열 균일성 향상을 위해 챔버를 통해 높은 유량 냉각수 가스를 갖는 큰 공정 챔버를 특징으로합니다. 또한, 다중 레이어를 배치하기 위해 여러 플라즈마 사이를 교대로 전환 할 수있는, 이중 증착 소스 증강 균일 성 (dual deposition source incomenting uniformity) 이 있습니다. AMAT Ultima HDP는 얇은 필름을 정확하게 에칭하고 배치하는 강력한 도구입니다. 업계 최고의 처리량, 일관된 균일성, 기존의 플라즈마 처리 도구보다 뛰어난 미세 구조 제어 기능을 제공합니다. 개선 된 균일성 (unifority) 과 온도 조절 (temperature control) 은 구멍이 뚫린 설계가 공정 챔버를 통해 가스를 균등하게 움직이기 때문에 부분적으로 발생합니다. 응용 재료 Ultima HDP에는 정교한 압력 제어 및 감지 기술과 기능이 포함되어 있습니다. HDP 원자로 (HDP Reactor) 는 프로세스 확장과 통합을 대폭 지원하며, 처리량 및 생산성을 향상시키며, 증착 및 에칭 (etching) 프로세스의 제어 수준을 높입니다. 이 솔루션은 프로세스의 다른 구성요소들과 직접 통합할 수 있는 다용도 (versatiable) 솔루션이며, 기존 Cleanroom 환경으로의 통합을 지원합니다. Ultima HDP는 AMAT 플라즈마 처리 도구 제품군의 일부이며, 에치, 증착, 표면 수정 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 오늘날 첨단 연구 센터 (HT) 와 제조 공장의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS (APPLIED MATERIALS) 의 전사적 고객 지원을 통해 고객은 기술 및 운영 프로세스를 최대한 활용할 수 있습니다.