판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima AZX-63 #9186153

AMAT/APPLIED MATERIALA Ultima AZX-63은 오늘날 가장 까다로운 Plasma 에칭 프로세스를 위해 우수한 전기 및 화학 제어를 제공하기 위해 설계된 고급 플라즈마 에칭 원자로입니다. 안정적이고 검증된 플랫폼을 기반으로 한 AMAT Ultima AZX-63에는 가장 까다로운 에칭 작업을 위한 강력한 기능이 포함되어 있습니다. 다중 주파수, 펄스 (pulsed) 전원 공급 장치는 단일 또는 다중 레이어의 에칭을 위한 최고의 유연성과 탁월한 성능을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Ultima AZX-63의 독점적 인 직접 구동 전기 기계 플랫폼은 훨씬 더 높은 체계적이고 운동 적 해상도를 제공하여 입자 유발 결함을 크게 줄입니다. 이는 제품 수율과 출력 드라이브 (Output Drive) 를 대폭 향상시켜 최고의 프로세스 효율성을 제공합니다. 또한이 시스템에는 아르곤 (argon) 과 질소 (nitrogen) 와 같은 반응성 및 비 반응성 공정 가스 모두에서 작동 할 수있는 대기 압력 플라즈마 발전기가 포함되어 있습니다. 이것은 에칭 프로세스 동안 더 큰 균일성과 반복성을 보장합니다. Ultima AZX-63에는 상표 Cyclonus ™ 기계 펌프가 장착되어 있습니다. 이 미학적으로 설계된 펌프는 업계에서 가장 효율적이며, 소음과 진동이 매우 낮습니다. 견고 한 "로터 '" 테크놀로지' 와 은밀 한 "모우터 챔버 '의 결합 은 환경 의 방해 를 막아 준다. 또한 고유한 설계를 통해 높은 수준의 압축 (compression) 및 진공 제어 (vacuum control) 기능을 통해 결함이 낮은 매우 정확한 에칭 결과를 얻을 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALA Ultima AZX-63에는 수명 센서, 자동 기판 정렬 장치 및 Plasma Discriminator ™ 와 같은 통합 수명 모니터링 및 제어 옵션도 있습니다. 이 모든 것이 가장 높은 프로세스 수익률을 달성하고 새로운 기판 프로세스 베이스라인 (baseline) 을 신속하게 설정합니다. 실험실에서 최고 수준의 품질과 안전을 보장하기 위해 AMAT Ultima AZX-63에는 정교한 안전 패키지가 장착되어 있습니다. 여기에는 경고 비콘, 조정 가능한 흐름 안전 밸브, 원격 버너 제어 기능이 있는 경보 시스템 (alarm system) 이 포함됩니다. 마지막으로 APPLIED MATERIALS Ultima AZX-63 은 서비스 및 유지 보수 요건에 대한 자동 종료 및 오류 진단 기능을 통해 손쉬운 유지 관리 및 운영을 위해 노력합니다. 고급 플라즈마 에칭 기능과 정교한 안전 기능으로, Ultima AZX-63은 정밀 플라즈마 에칭 요구에 이상적인 선택입니다. 성능과 안정성은 가장 까다롭고, 정밀도가 높은 플라즈마 에칭 (etching) 어플리케이션에 맞춰 설계되었습니다.