판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665499
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생산자 SE 용 AMAT/APPLIED MATERIALS 트윈 챔버 (Twin Chamber for Producer SE) 는 주어진 프로세스 수준에서 가장 높은 프로세스 성능 요구를 충족하도록 설계된 원자로입니다. 트윈 챔버 (Twin Chamber) 는 두 개의 독립 챔버를 갖추고 있으므로 두 챔버를 동시에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 개별 챔버를 사용하면 다중 단계 시퀀스 (multi-step sequence) 및/또는 높은 제품 수율이 필요한 복잡한 프로세스를 손쉽게 처리할 수 있습니다. 원자로 설계는 다양한 구성과 고정형/모바일 (Fixed/Mobile) 솔루션 선택이 가능한 단일 모듈식 (Modular) 장비를 기반으로 하여 특정 프로세스 조건에 가장 적합합니다. 자기장은 균일 한 가열을 제공하고 온도 불일치를 최소화하는 데 사용됩니다. 공정 튜브 및 3 차원 코일 디자인은 공정 온도와 제품의 균일성을 최대한으로 균일하게 보장합니다. 또한 외부 미디어 공급 장비가 필요하지 않습니다. 트윈 챔버 (Twin Chamber) 는 다양한 옵션을 통해 뛰어난 유연성을 제공합니다. 통합 플라즈마 소스는 산소, 질소 반응성 이온 에칭, 메싱, 금속 에칭 등과 같은 다양한 플라즈마 공정을 허용합니다. 방은 또한 하나의 압력 분위기를 제공 할 수 있으므로 다양한 압력 (pressure) 에서 처리 할 수 있습니다. 트윈 챔버 (Twin Chamber) 의 제어 시스템은 공통 프로토콜 인터페이스를 특징으로하여 프로세스를 제어하는 데 다양한 소프트웨어 패키지를 사용할 수 있습니다. 제어 장치 (Control Unit) 는 다양한 수준의 권한을 가진 여러 사용자에 맞게 구성할 수 있으므로 제어 시스템 (Control Machine) 에 대한 간편하고 안전한 액세스를 지원합니다. 원자로는 일련의 진단 도구 (diagnostic tools) 와 서비스와 통합되어 공정 결과의 정확성을 보장하고 프로세스 드리프트를 방지합니다. 또한 데이터 로깅 툴과 통합되어 프로세스 감사 (process audit) 및 리콜 (recall) 을 위한 데이터 로그를 수집합니다. 트윈 챔버 (Twin Chamber) 는 프로세스 챔버 압력 브레이크 모니터링 (Process Chamber Pressure Break Monitoring) 과 다양한 안전 인증 구성 요소를 통해 위험한 환경에서 가장 높은 안전을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 제품 오염을 예방하고 안전을 개선하기위한 고급 청소 자산이 있습니다. 생산자 SE 용 AMAT 트윈 챔버 (AMAT Twin Chamber) 의 AMAT는 가장 까다로운 생산 환경에서 최고 수준의 성능 및 서비스 수명을 보장합니다. 이것은 민감한 프로세스에 대한 높은 수율과 균일한 처리 조건을 유지하기위한 이상적인 도구입니다.
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