판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Siconi R2 #9375622

AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi R2는 반도체 생산에 사용되는 고용량 원자로 장비입니다. 이 시스템은 기판 지원 테이블과 원자로 챔버 (reactor chamber) 의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 기판 지원 테이블은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 처리 중 기판을 지원합니다. 원자로 챔버 (reactor chamber) 는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어진 대기 압력 자격 진공 챔버이며, 공정 중에 기판에 깨끗하고 안전한 환경을 제공하는 데 사용됩니다. AMAT Siconi R2에는 프로세스 매개 변수를 정확하고 반복적으로 제어하는 큰 기능 세트가 있습니다. 이 장치에는 RF 발전기, 균일 한 온도 분배를 제공하는 정밀한 공랭식 척 (chuck) 및 고급 Real-Time 가스 제어 기계가 장착되어 있습니다. RF 생성기는 최대 10 와트의 RF 전력을 공급할 수 있으며, 주기 전반에 걸쳐 프로세스 반복성을 제공합니다. 공랭식 척 (air-cooled chuck) 은 전체 웨이퍼에 걸쳐 열 구배를 감소시켜 산화물 두께, 에치 깊이 (etch depth) 와 같은 균일 한 공정 매개변수를 허용하도록 설계되었습니다. 실시간 (Real-Time) 제어 도구를 사용하면 주기 동안 정확한 반응 제어를 통해 일관된 품질과 반복성을 보장할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 시코니 (Siconi) R2 는 프로세스 제어를 위한 최적의 환경을 제공하여 최소한의 공구 다운타임으로 최고의 수준의 프로세스 반복성을 제공합니다. 프로세스 매개 변수에 대한 정확하고 반복 가능한 제어로 인해 제조 수익률이 향상됩니다. 자산은 자동화된 생산을 위해 설계되었으며, 반도체 소자 제조 공정에서 중요한 링크 역할을합니다. 이 최첨단 원자로 모델은 안전하고, 깨끗하며, 일관되게 반복 가능한 대기를 제공하며, 또한 최대 처리량을 제공합니다.