판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS RTP #9035884

AMAT/APPLIED MATERIALS RTP는 AMAT에서 개발 및 제조 한 반도체 재료 처리를 위해 설계된 원자로입니다. 원자로에는 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하는 고급 공정 제어 시스템 (Advanced Process Control System) 이 장착되어 있습니다. IC (Integrated Circuit) 제조에 사용되며 고급 기능과 고성능 IC를 제작할 수 있도록 설계되었습니다. AMAT RTP는 유전체 증착, 확산, 리플로우, 어닐링 등 다양한 응용 분야에 사용되는 고급 열 처리 시스템입니다. 원자로는 순환 열 처리 (cyclic thermal processing) 를 사용하여 더 빠른 처리 주기와 향상된 기질 균일성 및 반복성을 제공합니다. 또한 열 이미징 (thermal imaging) 기술이 적용되어 정확한 온도 조절 및 모니터링을 제공합니다. 원자로는 화학 증기 증착, 산화, 빠른 열 어닐링, 리플로우 및 확산을 포함한 다양한 과정에 대해 구성 될 수있다. 원자로에는 가열 석영 튜브, 석영보기 셀 및 이큐전 셀이 포함됩니다. ··· 석영 "튜브 '는 기판 처리 공간 을 제공 해 주며, 제어 환경 에서 가열 하고 냉각 할 수 있게 해 준다. "쿼츠 '뷰' 세포 는 반응 이 있는 종 을 포함 하고 있으며," 에큐전 '세포 는 온도 조절 을 제공 하고 기질 에 "가스' 혼합물 을 효율적 으로 적용 할 수 있게 한다. 또한 중앙 컨트롤러 (Central Controller) 는 프로세스 모니터링 및 제어 기능, 데이터 로깅 및 아카이빙 기능도 제공합니다. APPLIED MATERIALS RTP는 매우 효율적이고 생산적이며 안정적인 열 처리 시스템입니다. 이 제품은 수백만 가지의 처리 주기 (processing cycle) 에 걸쳐 높은 생산률과 안정적인 기판 균일성을 보장하기 위해 견고한 재료와 공정으로 설계되었습니다. 이 원자로는 IC 제조 응용 프로그램을 위해 비용 효율적인 솔루션입니다. 복잡한 처리를 보다 짧은 기간에 완료할 수 있습니다. 또한 자동 제어 (Automated Control) 기능을 통해 다양한 애플리케이션에 대한 일관된 성능과 향상된 정밀도를 보장합니다. 이를 통해 IC 제조에 이상적인 솔루션으로, 보다 효율적인 프로세스와 더 짧은 시장 진출 주기 (time-to-market cycle) 를 실현할 수 있습니다.