판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura #9375957

엔두라 (Endura) 플랫폼과 함께 사용할 AMAT PVD 챔버는 박막 재료의 물리적 증기 증착을위한 고급 도구입니다. 이 고급 공정 챔버 (advanced process chamber) 는 다양한 기판 재료에 적용 될 때 증착 환경을 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 약실은 금속, 합금, 화합물 증착 등 다양한 프로세스와 호환됩니다. PVD 챔버 자체는 고체 강철 바디로 만들어진 대형 원통형 인클로저 (cylindrical enclosure) 로, 무거운 게이지 금속으로 가공되며 인체 공학적, 구조적 무결성을 위해 금속화되어 있습니다. 챔버 내부에는 진공 호환 전기 모터 (vacuum compatible electric motor) 및 팬 어셈블리 (fan assembly) 가 있으며, 이는 증착 공정에 대한 정확하고 제어 된 질량 흐름 프로파일을 명령합니다. 이 고효율 모터는 정확한 회전 속도를 제어할 수있는 정밀 드라이브 메커니즘 (precision drive mechanism) 에 연결되어 기판 재료에 배치 된 레이어 (layer) 또는 필름 (film) 의 정확성과 균일성을 보장합니다. 이 챔버 (Chamber) 에는 프로세스 실행 중 챔버 (Chamber) 개방을 방지하는 안전 인터 록 (Safety Interlock) 과 실수로 호퍼 브레이크 (Hopper Breakage) 의 경우 챔버 내부에서 외부로 프로세스 압력 라인을 정의하는 기계식 벽 (Mechanical Wall) 을 포함하여 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 또한 인클로저 상단 부근에 투명 창 (transparent window) 이 포함되어 있어 공정이 실행되는 동안 기술자가 내부 (interior) 를 시각적으로 검사할 수 있습니다. 엔두라 (Endura) 플랫폼용 APPLIED MATERIALS PVD 챔버에 포함 된 컨트롤러는 직관적이고 사용하기 쉬운 시스템으로 컴퓨터 또는 모바일 장치를 통해 관리 할 수 있습니다. 기술 지원 담당자가 쉽게 설정을 모니터링, 분석, 수정할 수 있도록 DSE (Deposition Process) 를 실시간으로 파악할 수 있습니다. 또한 컨트롤러는 프로세스 종료 보고서 (End of Process Report) 를 제공합니다. 여기에는 주기 수와 예치된 재료의 양에 대한 세부 정보가 포함됩니다. 이 정보를 사용하여 증착 프로세스를 최적화하고 여러 기판에 걸친 필름 두께, 균일성, 일관성 (Consistency) 측면에서 더 정확한 결과를 만들 수 있습니다. 전반적으로 Endura 플랫폼 용 AMAT/APPLIED MATERIALS PVD Chamber는 다양한 기판에서 박막 증착을위한 고급 도구입니다. 다양한 안전 기능, 최첨단 모터 어셈블리 (state-of-the-art motor assembly) 및 직관적인 컨트롤러는 증착 공정에 비해 뛰어난 제어, 정확성 및 정밀도를 제공하여 정확한 레이어 및 필름 시간을 생성합니다.