판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura #9275294
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판매
ID: 9275294
웨이퍼 크기: 12"
12"
Process: Extensa Su
Magnet
Cryo pump OB-IF8
Gate valve: VAT
Heater: 0010-24456
Adaptor: 0040-89818
Manometer: 1350-00255
ATM gauge: W117V-3H-F12M-X30014
Capacitance pirani gauge: 3310-00073
Pedestal integration box: 0010-28071
Hot ion / Pirani gauge: 0190-26769
Shutter sensor assembly: 0190-10801
Source assembly: 0010-44917
Angle vacuum valve: AVT-150M-P-03
Heater lift motor
Wafer lift motor: MQMA012AF
Shutter motor: PK564AW2-A8
Drivers:
Heater driver: 3096-1007
Wafer lift driver: 0190-15328
Pedestal driver: PV2A015SMT1PA0-C1
Magnet rotation driver: BXD400B-S
MFC:
AR 50
AR 20
N2 92
No 5-Phase driver
No ISAC CP 10 Block board
No defective power supply.
AMAT/APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura는 다양한 산업에서 다양한 생산 응용 분야에 사용하도록 설계된 PVD (Physical Vapor Deposition) 원자로입니다. PVD (PVD) 는 기판에서 고체 필름을 생성하기 위해 소스 재료의 증발을 포함하는 증착 과정이다. 엔두라 챔버 (Endura Chamber) 는 다양한 산업에서 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 증착 수단을 제공합니다. 엔두라 챔버 (Endura Chamber) 는 고순도 고압 공정 가스를 제공하는 활성 펌핑 시스템을 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 또한 증착 할 물질을 증발하기위한 고전원이 포함되어 있습니다. 이 소스는 필라멘트 형 텅스텐 보트, 트리오드 가열 필라멘트 또는 전자 총으로 구성됩니다. 이 챔버에는 석영 창 물개, 누출 탐지기, 폭발성 가스 탐지기 등 여러 안전 기능도 포함되어 있습니다. 챔버는 스테인리스 스틸, UHV 호환 알루미늄 및 기타 부식 내성 재료로 구성됩니다. 방에는 증착 과정의 관찰 및 모니터링을 허용하는 2 개의 대기 뷰포트 (viewport) 도 있습니다. 뷰포트는 내부의 오염을 막기 위해 광학적으로 밀봉됩니다. Endura Chamber는 높은 생산성, 반복성 및 재생성을 달성하도록 설계되었습니다. 컴퓨터 기반 제어 시스템은 자동 레시피, 데이터 수집, 프로세스 모니터링 및 기타 고급 기능을 지원합니다. 대용량 생산의 요구 사항을 충족시키고 최대 1100 ° C의 온도를 유지할 수 있도록 설계되었습니다. 엔두라 챔버 (Endura Chamber) 는 증착 과정에서 신뢰성과 유연성을 제공하는 것 외에도 프로세스 관련 비용을 최소화합니다. 이것은 유지 보수가 쉽고 운영 비용이 낮기 때문에 달성됩니다. 또한, 효율성과 첨단 기술은 최고의 품질 표준을 유지하면서 프로세스 생산성을 향상시킵니다. 전반적으로 AMAT PVD Chamber for Endura는 물리적 증기 증착을 수행하는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 방법을 제공합니다. '고급 안전 (Safety)' 및 '제어 (Control)' 기능은 신뢰성과 유연성과 연계되어 많은 운영 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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