판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9272619
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer는 반도체 산업을위한 고급 증착 도구입니다. 그것은 MEMS와 같은 복잡한 구조의 생산 및 GaN 및 웨이퍼 (Wafers) 와 같은 최첨단 재료의 증착에 사용됩니다. AMAT 생산자 (AMAT Producer) 는 배치 (Batch) 와 인라인 (Inline) 프로세싱의 장점을 결합한 제품으로 고성능, 고정밀 어플리케이션의 프로세스 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 응용 재료 생산자 (APPLIED MATERIALS Producer) 는 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하도록 다양한 원자로 챔버 설계로 사용자 정의할 수 있습니다. 공정 매개변수에 따라 저압 (low-pressure) 또는 고압 (high-pressure) 원자로를 선택할 수 있습니다. 반복 가능한 프로세스 주기를 위해 단일 또는 다중 챔버로 구성 할 수도 있습니다. 이 장비에는 부드럽고 정확한 증착을 위해 정확하고 균일 한 기판을 보장하는 내장 SCM (Substrate Chucking Mechanism) 이 포함되어 있습니다. 생산자는 또한 효율적이고 반복 가능한 프로세스 제어를 위해 고급 자동화 시스템을 갖추고 있습니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 증착 과정에서 발생하는 열로부터 고급 냉각 및 보호를 위해 수냉식됩니다. 원자로에는 플라즈마 소스, 고순도 가스 소스, 가스 전달 장치 (gas delivery unit) 등 특수 액세서리를 장착 할 수도 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer는 PVD (Physical Vapor Disposition), CVD (Chemical Vapor Deposition) 및 스퍼터링을 포함한 다양한 고급 프로세스에 비해 높은 균일성과 제어성을 달성하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 직관적이고 자동화된 프로세스 설정을 용이하게 하기 위해 사용자 친화적 인 소프트웨어로 설계되었습니다. 자동 입/출력 (Automated Input/Output) 스테이징은 빠르고 안정적인 작동을 보장하는 반면, 정교한 툴 진단 및 성능 추적은 프로세스 가시성과 제어를 제공합니다. AMAT Producer는 맞춤형 운영 및 장기 프로세스 안정성을 위해 고급 프로그래밍 기능도 제공합니다. APPLIED MATERIALS Producer는 MEM, 차폐 재료, 광학 부품 및 기타 최첨단 재료 제조에 적합합니다. 컴팩트 (compact) 설계를 통해 기존/신규 제작 설비에 손쉽게 통합할 수 있으며, 높은 효율성과 성능으로 뛰어난 품질, 반복 가능한 결과, 효율적인 처리량을 보장할 수 있습니다.
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