판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9243839
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer는 정밀한 레이어 두께 제어를 가진 고순도 재료 증착을 제공하도록 설계된 생산 원자로입니다. 원자로에는 설치, 작동 및 유지 보수가 용이한 모듈 식 디자인이 있습니다. 강력한 온도 조절 및 균일성을 갖춘 고성능 증착실 (HPP) 이 있으며, 특허를받은 히터 플랫폼을 기반으로합니다. 원자로는 필름 형성 공정 가스를 챔버 (chamber) 에 도입하여 가열되고 이온화 (ionized) 시킨다. 이것 은 "플라즈마 '를 만들어" 가스' 를 분자 와 중성 자유 "라디칼 '로 분해 하여 더 정밀 한 기질 로 증착 시킨다. 또한 AMAT 생산자는 특허를 획득한 자동화된 프로세스 제어 장비 (Automated Process Control Equipment) 를 제공하므로 증착율과 레이어 두께가 뛰어난 재현성을 보장합니다. 이 시스템에는 반응성 가스 전달 장치, 진공 제어, 플래튼 위상 각도 제어, 정확한 제어를 위한 실시간 데이터 획득 기계 등이 포함됩니다. 또한 공정 모니터링 도구 (Process Monitoring Tool) 와 통합 안전 연동 (Integrated Safety Interlock) 을 통해 자산 매개변수를 모니터링하고, 잠재적인 오작동에 대한 모니터링 및 사전 경고를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Producer의 증착실은 다양한 범위의 응용을위한 넓은 온도 범위를 가지고 있습니다. 저전압 플라즈마 (Low Voltage Plasma) 기술을 제공하여 효율성을 향상시키고, 고급 재료 정화 기술을 제공하여 예금 된 필름의 뛰어난 필름 균일성과 높은 순도를 달성합니다. 원자로는 환경 영향을 최소화하며, 저전력 소비율을 자랑합니다. 이러한 모든 기능 외에도, 프로듀서 (Producer) 는 전체 프로세스 또는 다양한 특정 레시피를 실행하도록 프로그래밍 될 수있는 완전한 완전 자동화 증착 플랫폼을 제공합니다. 이 고급 플랫폼 (Advanced platform) 은 소프트웨어/하드웨어의 효율성을 높여 완벽한 프로세스 제어/분석 기능과 향후 요구 사항을 위한 확장성을 제공합니다. 이 모델은 사용자가 개선된 수익률과 수익을 누릴 수 있도록 원활하게 작동하도록 설계되었습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer는 가장 까다롭고 정확한 재료 생산 요구 사항을 충족하는 포괄적인 증착 솔루션입니다. 환경 영향을 최소화하고 전력 효율성을 높여 높은 순도 증착 (high purity deposition) 및 정밀 레이어 두께 제어 (Precise Layer Thickness Control) 기능을 제공합니다. 이 원자로는 또한 고급 자동화 소프트웨어 (Automation Software) 와 사용 편의성 향상 및 확장성 극대화를 위한 모듈식 설계로 제작되었습니다.
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