판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9221488

AMAT Producte는 다양한 제조 공정을 위해 설계된 원자로입니다. 이 원자로는 박막 증착에 사용되며, 다양한 필름 두께 (film thickness) 와 증착률 (deposition rate) 에 걸쳐 필름 속성의 뛰어난 제어 및 균일성을 제공합니다. 이 장비는 배치 (batch) 또는 인라인 (inline) 처리를 위해 설계되었으며, 다양한 공정 및 재료 조합이 가능합니다. 시스템은 반복 가능하고, 제어 가능하며, 신뢰할 수 있는 프로세스와 균일성 결과를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer에는 2 개의 Long Island 증착원과 2 개의 메인 챔버가 있으며 각각 2 개의로드 락이 있습니다. 하중 잠금을 함께 볼트하여 단일 챔버 어셈블리를 형성 할 수 있습니다. 각 측면의 2 개의 하중 잠금 (load lock) 은 공정 압력과 온도를 제어하기 위해 별도로 통풍됩니다. 챔버 부품과 로드 락 (load lock) 은 고품질 스테인리스 스틸 및 알루미늄과 티타늄 라인 챔버 베이스 (옵션) 로 구성됩니다. 챔버 치수, 내부 온도 및 압력은 통합, 컴퓨터 제어 온도 및 압력 조절기에 의해 유지되고 모니터링됩니다. AMAT 생산자는 처리량이 높은 어플리케이션을 위해 설계되었으며, 15 분 안에 최대 30 개의 박막 구조를 생산할 수 있습니다. 증착원은 균일 한 박막 증착을 위해 최대 1kW의 기판 전력을 제공합니다. 이 소스는 수동 또는 자동 모드에서 작동할 수 있습니다. 수동 모드 (Manual Mode) 를 사용하면 프로세스 연산자가 원자로 프로세스 가스의 온도, 압력, 유속 등의 변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 자동 모드에서는 이러한 변수를 원격으로 제어할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Producer의 제어 장치는 검증된 기계 아키텍처를 기반으로합니다. 이 도구에는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있어 프로세스 매개변수 입력, 프로세스 성능 모니터링, 여러 프로세스 간 기간별 데이터 액세스 등의 작업을 수행할 수 있습니다. 이 자산에는 박막 증착 (Thin-film deposition) 프로세스를 신속하게 설정하고 최적화하는 강력한 프로세스 개발 모듈도 포함되어 있습니다. 생산자는 반응성 공정 가스 (reactive process gase) 와 박막 증착 성능의 매개변수를 측정하는 다양한 물리 및 화학 센서를 갖추고 있습니다. 이러한 모니터링 된 매개 변수에는 증착률 및 균일 성, 기판 온도 및 열전 증착률이 포함됩니다. 모델은 가상 필름 배치 프로세스가 원하는 매개변수를 따르도록 합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer는 다양한 박막 증착 응용 프로그램에 이상적입니다. 최대 20: 1의 높은 종횡비를 가진 기판에 균일 한 박막 증착이 필요한 응용 분야에 적합합니다. 이 장비는 처리량이 높으며, 프로세스 개발자가 신속하게 박막 증착 (Thin-Film Deposition) 프로세스를 설정하고 최적화할 수 있도록 합니다. 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 과 품질 (Quality) 구성 요소를 통해 안정적이고 반복 가능한 박막 증착 처리에 이상적인 플랫폼입니다.