판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9204130

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer는 반도체 장치 제조에 사용되는 텅스텐 화학 증기 증착 (CVD) 및 텅스텐 층 (tungsten layer) 의 전처리를 위해 설계된 고성능 대규모 원자로입니다. 이 원자로는 다양한 기판에 수직으로 균일하고 결함이 없는 텅스텐 (tungsten) 층을 전달하도록 설계되었습니다. Materials AMAT Producer는 큰 서셉터 직경으로 설계되어 720mm의 균일 한 증착과 비 균일 성을 제거 할 수 있습니다. 이 원자로는 또한 균일 한 서셉터 온도 제어 (susceptor temperon control) 를 특징으로하며, 웨이퍼 양쪽에 설정할 수있는 독립적 인 온도를 허용합니다. APPLIED MATERIALS Producer는 또한 경량 빔 모니터로 설계되어 증착 과정을 실시간으로 모니터링합니다. 재료 생산자 (Materials Producer) 는 여러 유형의 재료를 처리 할 수있는 측면에서 다양한 시약 기체로 개발 된 반응을 통해 CVD 증착, 에칭 및 청소를 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer는 텅스텐 기반 전략과 프로세스를 지원하여 구리, 구리 텅스텐, 몰리브덴, 이산화규소 등 다양한 텅스텐 기판을 처리 할 수있는 기능을 제공하도록 설계되었습니다. AMAT 생산자는 2 개의 챔버 (공정 챔버 및 가스 소스 챔버) 를 갖춘 멀티 챔버 구성 원자로입니다. 공정 챔버에는 저압 범위 RF 전원, 반응 챔버, 2 개의 독립적 인 감지기, 1 챔버 타입 하중 장치 및 진공 챔버가 포함됩니다. 가스 소스 챔버 (gas source chamber) 는 가스 압력 및 유속, 스풀 피스, 건조기 및 전력 및 반응 조건을 조정하는 컨트롤러를위한 포트로 구성됩니다. APPLIED MATERIALS Producer 는 강력한 소프트웨어와 함께, 고급 진단, 데이터 로깅, 분석 툴뿐만 아니라 실시간 프로세스 조건도 제공합니다. 이 원자로는 정지 된 푸트 후드 (Fume Hoood), 현장 인력 모니터링, 32 포인트 안전 종료 시스템 등 더 안전한 작동을 촉진하는 여러 가지 안전 기능으로 반올림됩니다. 요약하면, 생산자는 텅스텐 CVD (Tungsten CVD) 및 레이어 사전/사후 처리를 위해 설계된 고급적이고 강력한 원자로입니다. 이 원자로는 반응 조건을 정확하게 제어하고, 여러 재료를 지원하며, 더 안전한 작동을 보장하기 위해 다양한 안전 (safety) 기능을 포함합니다.