판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9192631

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer는 PEMBE (Plasma Enhanced Molecular Beam Epitaxy) 를위한 고급 원자로 기술입니다. 반도체 소자 개발· 생산은 산업규모로 가능하며, 반도체 소자 소자 요구사항을 충족시키는 대용량 소자 생산이 가능하다. 반도체 소자 개발과 생산은 공업규모로 가능하다. 원자로는 높은 수준의 공정 제어 (Process Control) 를 제공하기 위해 설계되었으며, 디바이스 생산 (Device Production) 은 가장 높은 수준의 장치 생산 및 효율성으로 빠르게 진행할 수 있습니다. AMAT 생산자는 무선 주파수 (RF) 코일, 평면 코디 에라이트 서셉터 및 척이있는 다차원 원자로 챔버를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 고도로 자동화된 제어 소프트웨어는 장치 생산 과정을 자동화하도록 설계되었으며, 가스 흐름 속도 (gas flow rate), 증착 온도 (deposition temperature) 및 기타 장치 매개변수 (device parameter) 와 같은 다양한 설정을 제공합니다. 프로세스 매개 변수는 웹 기반 인터페이스 (Web Based Interface) 를 통해 조정할 수 있습니다. 즉, 즉시 디바이스 매개 변수를 조정하고 디바이스 운영 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 원자로의 섀시는 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 외관을 갖춘 알루미늄 프레임 (Aluminum Frame) 으로 구성되어 있어 가볍고 내구성이 뛰어납니다. 그런 다음 이 프레임은 고성능 세라믹으로 구성된 여러 구성 요소로 채워집니다. 대피 된 챔버의 온도 범위는 섭씨 50 ~ 250도 (고압 10 ~ 13 Torr) 이며, 플라즈마 강화 된 분자 빔 에피 택시 내에서 발생하는 반응 조건에 이상적입니다. RF "코일 '은 필요 한" 에너지' 를 기판 에 공급 하고, 그 다음 에 약실 에 도입 되는 소스 "가스 '와 반응 한다. RF 코일 (coil) 은 또한 연구 중 반응의 전자 및 이온 빔을 형성하는 데 사용되는 자기장 (magnetic field) 을 제공하는 데 사용된다. 평면 코디 에라이트 서셉터 (planar cordierite susceptor) 는 전체 장치 개발을 위해 웨이퍼가 위치한 원자로 내의 플랫폼입니다. 원자로 챔버 (reactor chamber) 의 고온 환경 때문에 감수기는 열을 견딜 수있는 능력이 있어야합니다. 그렇기 때문에 AMAT는 열 팽창 질이 낮은 물질 인 코디 에라이트 세라믹 (cordierite ceramic) 을 사용하여 감수기를 생산하는 이유입니다. 이 재료는 또한 높은 수준의 열 충격 (thermal shock) 과 강도 (strength) 를 제공하여 이러한 유형의 장치 생산에 사용하기 좋은 선택입니다. 전반적으로, APPLIED MATERIALS Producer는 장치 생산 및 프로세스 개발을위한 산업적으로 관련된 플랫폼을 제공하는 고급 원자로 기술입니다. 고도로 제어 가능한 매개변수 세트를 제공함으로써, 이 장치는 정확한 요구 사항을 충족하는 일관성 있는 고수율 (High Yield) 제품을 생산합니다. 경량 (Light), 내구성 있는 설계, 견고한 구성요소를 통해 장치를 정확한 표준 (Standard) 으로 유지할 수 있으며, 자동화된 제어 소프트웨어를 통해 최고의 장치 성능을 제공하는 데 필요한 수작업 (Manual Intervention) 의 양을 줄일 수 있습니다.