판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #293824606

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer는 박막 증착 및 공정 통합을 위해 특별히 설계된 산업용 진공 증착 원자로입니다. 이 원자로는 다양한 박막 증착 기술 및 물리적 증발, 스퍼터 증착, 화학 증기 증착, 원자층 증착 (atomic layer deposition) 과 같은 기능으로 인터페이스됩니다. 여러 소스 바구니, in-situ pyrometer 및 EOR (multi-point end-of-run) 플라즈마 모니터와 같은 여러 기능이 있습니다. 또한 최대 2,400 와트의 전력을 공급할 수 있습니다. AMAT 생산자는 진공실, 진공 펌프, 공정 및 전원을 포함한 여러 하위 시스템으로 구성됩니다. 진공 챔버에는 뷰포트가 장착되어 있으며 최대 8 인치 웨이퍼 및 소형 샘플을위한 모듈식, 망원경 감지기 (telescoping susceptor) 가 포함되어 있습니다. 진공 "펌프 '는 정밀 한 압력 조절 을 하도록 설계 되었으며, 약실 을 대피 시키고, 미리 정해진 압력 을 유지 하는 데 사용 된다. APPLIED MATERIALS 생산자의 프로세스 소스 배열에는 각각 스퍼터 증착 및 RIE (reactive ion etch) 프로세스에 사용되는 DC 및 RF 마그네트론이 모두 포함됩니다. DC 마그네트론 (magnetron) 은 내부에 장착되는 자체 포함 소스이며, RF 마그네트론 (magnetron) 은 외부에 장착되어 주 전원 공급 장치에 인터페이스됩니다. 최대 2,400 와트의 RF 전력을 제공하는 전원은 모듈식이며, RF 전원의 튜닝 및 매칭 (matching) 에 대한 조항이 장착되어 있습니다. 내부 피로미터는 증착 중 웨이퍼의 현장 온도 모니터링을 제공하는 반면, EOR 플라즈마 모니터 (EOR plasma monitor) 는 연산자가 증착 과정의 종점을 평가 할 수 있습니다. 이렇게 하면 연산자가 배치 매개변수를 세밀하게 조정하고 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 생산자 (Producer) 는 또한 챔버 벽을 냉각시킬 수있는 다양한 구성 요소와 통합되어 있으며, 기판 온도 및 챔버 청결도 (chamber cleaness) 를 모니터링 및 제어하기위한 활성 환경 제어 시스템 (Environmental Control System) 과 통합되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer (AMAT/APPLIED MATERIALS 생산자) 는 효율적이고 다용도, 사용자 친화적인 원자로로 다양한 마이크로일렉트로닉스 어플리케이션을 위한 탁월한 박막 증착 솔루션을 제공합니다. 즉, 작동이 쉽고, 한 프로세스에서 다른 프로세스로 전환할 수 있는 유연성을 제공하여, 뛰어난 프로세스 반복성과 재현성을 제공합니다. 전반적으로, 이 원자로는 안정적이고 견고한 박막 증착 시스템이 필요한 사람들에게 훌륭한 선택입니다.