판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #293686555
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ID: 293686555
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
CVD System, 12"
Missing parts:
(4) Chambers
(2) Heaters
2006 vintage.
AMAT (AMAT/APPLIED MATERIALS Producer) 원자로는 집적회로 및 기타 전자 제품 생산에 사용되는 기판에 박막 (thin film) 을 배치하기위한 정확하고 안정적인 프로세스를 제공하기 위해 설계된 고급 반도체 제조 도구입니다. 이 최첨단 기술은 균일성 (unifority), 순도 (purity), 필름 특성 제어 (control of film properties) 가 높은 재료의 증착을 가능하게 함으로써 차세대 디바이스를 제작하는 데 중요한 역할을 합니다. APPLIED MATERIALS 원자로 (APPLIED MATERIALS reactor) 의 중심에는 퇴적 공정을 촬영하는 환경을 만드는 정교한 진공실 장비가 있습니다. 챔버에는 여러 개의 가스 입구, 웨이퍼 처리 시스템 (wafer handling system), 난방 요소, 증착 공정 모니터링 및 제어를위한 다양한 센서가 장착되어 있습니다. 원자로는 유전체 (Dielectric film), 금속 필름 (metal film), 화합물 반도체 (compound Semiconductor) 등 다양한 물질을 침전시켜 반도체 산업의 다양한 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 원자로의 주요 특징 중 하나는 뛰어난 필름 품질을 유지하면서 높은 증착률을 달성 할 수있는 능력입니다. 이것은 원자로의 고급 가스 전달 장치 (advanced gas delivery unit) 에 의해 가능해지며, 이는 증착 과정에서 사용되는 전구체 가스의 유속 (flow rate) 및 조성을 정확하게 제어한다. "가스 '흐름" 파라미터' 를 최적화 함 으로써, 원자로 는 전체 기판 에 걸쳐 매우 균일 한 필름 두께 와 구성 을 달성 할 수 있으며, 그 결과 보다 뛰어난 장치 성능 과 신뢰성 을 얻게 된다. 또한, AMAT 원자로에는 플라즈마 강화 조건에서 필름을 증착 할 수있는 고급 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 플라즈마 강화 증착은 개선 된 필름 접착, 향상된 필름 밀도, 감소 된 필름 스트레스를 포함한 여러 가지 이점을 제공합니다. 원자로 의 "플라즈마 '원 들 은 증착 과정 의 특정 한 요구 조건 에 따라 다른 형태 의" 플라즈마', 이를테면, 원거리 "플라즈마 ', 유도 결합" 플라즈마' 또는 정전 결합 된 "플라즈마 '를 생성 하도록 조정 할 수 있다. APPLIED MATERIALS 원자로 (APPLIED MATERIALS reactor) 는 또한 증착 과정에서 기판 온도의 정확한 조절을 허용하는 최첨단 온도 조절 기계를 특징으로합니다. 기판을 최적 온도 (optimal temperature) 에서 유지하는 것은 원하는 필름 특성을 달성하고 높은 장치 성능을 보장하는 데 중요합니다. 온도 조절 도구 (Temperature Control Tool) 는 기판을 빠르게 올리거나 식힐 수 있으므로 처리 속도가 빨라지고 생산성이 높아집니다. AMAT/APPLIED MATERIALS (APPLIED MATERIALS) 원자로는 첨단 기술 기능 외에도 사용자 친화적인 인터페이스를 제공하여 운영자가 배치 프로세스를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 원자로 소프트웨어 인터페이스는 프로세스 매개변수, 가스 흐름, 플라즈마 조건 및 기판 온도 (기판 온도) 에 대한 실시간 데이터를 제공하므로 운영자가 즉시 조정하여 증착 성능을 최적화 할 수 있습니다. 또, 원자로에는 "운용 중 사고 방지 '와" 운행 중 사고 방지' 를 위한 포괄적인 안전성 기능이 탑재돼 있다. 결론적으로, AMAT 원자로는 반도체 제조 기술의 상당한 발전을 나타내며, 정확성과 신뢰성이 높은 박막을 증착시키는 데 탁월한 기능을 제공합니다. 혁신적인 디자인, 고급 기능, 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 첨단 전자 기기 제작을위한 다목적 툴로 차세대 반도체 (Semiconductor) 및 기타 첨단 제품을 개발할 수 있는 길을 마련했습니다.
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