판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #293603980

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer (때로는 AMP라고도 함) 는 박막 코팅 및 박막 재료의 증착을 위해 설계된 고급 멀티 프로세스 챔버입니다. AMP는 스퍼터 증착, CVD (chemical vapor deposition) 및 ALD (Atomic Layer Deposition) 와 같은 다양한 유형의 증착 과정을 단일 장비로 수행 할 수 있습니다. AMP 프로세스는 고급 박막 재료 및 코팅에 대한 업계의 요구 사항을 충족시키기 위해 개발되었습니다. AMP 챔버 (AMP chamber) 는 부식 내성 물질로 구성되며 3 개의 공정 구역이 있으며, 각 구역에는 주요 공정 공동이 장착되어 있습니다. 주요 공정 동굴 (cavity) 은 프로세스 환경을 최적으로 제어하고 박막 코팅의 반복성을 보장하기 위해 밀봉됩니다. 각 공정 구역에는 기판 히터, 운송 메커니즘, 원격으로 작동하는 리프트 암 (lift arm) 과 같은 자체 특수 부품이 장착되어 있습니다. AMP 챔버 (AMP Chamber) 는 완전 자동화된 로드 및 언로드 시스템을 갖추고 있으며, 이 시스템은 깨끗하고 오염이 없는 환경을 유지하면서 여러 기판을 동시에 처리할 수 있습니다. AMP에는 마그네트론 스퍼터링, 이온 빔 증착, CVD 및 전기 분해 증착 (Electrolytic Deposition) 을 포함한 다양한 증착 기술을 용이하게하기 위해 다양한 공정 도구가 장착 될 수 있습니다. 각 증착 기법은 박막 코팅 (Thin film coating) 의 품질 및 균일성 (unifority) 에 대한 제어 향상, 제조 시간 단축, 에너지 효율 향상 등 다양한 이점을 제공합니다. 프로세스 도구 외에도, AMP 챔버에는 다양한 컨트롤, 피드 라인 (feed line) 및 흐름 컨트롤러 (flow controller) 가 포함되어 있어 최적의 프로세스 제어를 제공합니다. 약실 에는 또한 "가스 '장치 가 갖추어져 있어서 약실 내 의" 가스' 압력 과 조성물 을 정확 하게 조절 한다. 가스 기계는 또한 증착 작업 중 열 또는 플라즈마 손상을 줄이는 데 도움이됩니다. 마지막으로, AMP는 프로세스 시간 (process time) 및 필름 두께 판독 (film thickness readings) 을 포함하여 상세한 프로세스 데이터를 제공할 수있는 정교한 모니터링 도구를 갖추고 있습니다. 이 데이터는 박막 재료 (Thin Film Material) 와 코팅 (Coating) 의 품질을 최적화하기 위해 증착 과정을 조정하는 데 사용될 수 있습니다. AMP (Advanced Fabrication Asset) 는 정확성과 정확성에 대한 업계 표준을 충족할 수 있는 고급 제작 자산입니다.