판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #135489
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판매
ID: 135489
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
CVD system, 8"
Process: HT NIT
Wafer shape: JMF
Wafer size: 8"
Producer type: long mainframe
SMIF: manual
System placement: through the wall
Chambers:
Chamber A: HT NIT
Chamber B: HT NIT
Chamber A:
Heater: ceramic
Clean method: remote plasma
Frequency: dual HF and LF
Manometer: dual 10 / 100 Torr
Chamber B:
Heater: ceramic
Clean method: remote plasma
Frequency: dual HF and LF
Manometer: dual 10 / 100 Torr
Beat exchanger: Steelhead 0
HF generators:
Chamber A: V-(RFG2000-2V)
Chamber B: V-(RFG2000-2V)
LF generators:
Chamber A: V-(DPG-10)
Chamber B: V-(DPG-10)
Mainframe:
Type: Producer long
SMIF: manual
Electrical requirements:
Line frequency: 50 / 60 Hz
Line voltage: 200 / 208V
Line amperage: 400A
System monitor: 1st and 2nd monitors
System placement: through-the-wall
Gas delivery:
MFC type: STEC 4400MC
Valves: FUJIKIN 5 Ra Max
Filters: MOTT
Transducer: MKS without display
Regulators: VERIFLO
Chamber A gases:
N2O, 500 sccm
N20, 5 slm
NH3, 300 sccm
N2, 10 slm
SiH4, 500 sccm
SiH4, 1 slm
Ar, 5 slm
NF3, 3 slm
Chamber B gases:
N2O, 500 sccm
N20, 5 slm
NH3, 300 sccm
N2, 10 slm
SiH4, 500 sccm
SiH4, 1 slm
Ar, 5 slm
NF3, 3 slm
Can be inspected
1999 vintage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Producer는 기판 성능 및 내구성을 향상시키기 위해 박막 코팅의 증착을 위해 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 CVD 원자로에는 혁신적인 벨로우 (bellows) 스타일의 수직 전극이 장착되어 있으며, 이는 반도체 재료에서 금속에 이르기까지 다양한 기판에 박막 코팅을 정확하고 일관되게 증착 할 수 있습니다. 수직 전극 구성은 또한 증착의 균일성을 향상시켜 코팅 두께 제어 (coating thickness control) 가 크고 수율이 높아집니다. AMAT 생산자는 2 미터 트윈 챔버 (Twin Chamber) 를 장착하여 양면 웨이퍼 생산을 촉진하며 최대 4 개의 다양한 두께를 동시에 처리 할 수 있습니다. 이 CVD 반응 챔버는 또한 빠른 열 후퇴 장비 (rapid thermal recessing equipment) 를 사용하는데, 이는 다른 기존 박막 생산 방법의 일부 시간에 원자 층 증착 (ALD) 또는 MIPT-ALD 코팅을 생성하는 새로운 PVD 프로세스입니다. 응용 재료 응용 재료 생산자 (APPLIED MATERIALS APPLIED MATERIALS Producer) 는 다양성과 유연성을 제공하여 다양한 기판을 광범위한 필름 두께로 처리 할 수 있습니다. 또한 단일 웨이퍼 및 웨이퍼 스태킹을 여러 번 다시 코팅하여 최적의 처리량을 제공합니다. 멀티 가스 혼합 능력과 페어링 된 효율적인 웨이퍼 포지셔닝 시스템은 증착 균일성과 재생성을 더욱 향상시킵니다. 또한, CVD 반응 챔버는 균일 한 온도 분포, 압력 제어 및 뛰어난 상시 신뢰성을 활용하여 재구성 없이도 반복 가능한 프로세스 결과를 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 배치 프로세스와 장치 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 CVD 원자로에는 직관적인 리모콘 머신 (remote control machine) 이 있는데, 이를 통해 사용자는 원격 위치에서 공구의 작동을 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한 진단 도구 (Diagnostic Tools) 는 프로세스 및 자산 호환성을 보장하는 반면, 내장된 안전 (Safety) 기능은 예기치 않은 상황에서 모델의 작업 무결성을 보호합니다. 요약하면, AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Producer CVD 원자로는 향상된 기판 성능 및 내구성을 제공하도록 설계된 고급 고출력 화학 증착 장비입니다. 이 CVD 원자로는 견고한 기술과 직관적인 제어를 갖추고 있어, 기판 증착을위한 안정적이고 효율적인 솔루션입니다. 다기능적이고 유연한 설계, 뛰어난 가동 시간 안정성, 정교한 GUI 등을 갖춘 AMAT 생산자는 사용자에게 역동적인 시장에서 번영할 수 있는 유연성을 제공합니다.
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