판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9409076

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 고급 원자로입니다. AMAT 생산자 SE는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 통합하여 탁월한 에치 성능을 제공합니다. 이를 통해 프로세스 생산성 향상, 프로세스 성능 및 균일성 향상, 결함 감소 등의 효과를 얻을 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE는 통합 PVD (Physical Vapor Deposition) 모듈 및 다중 주파수 ICP 소스를 특징으로하며, 에칭 깊이, 모양 및 프로세스 조건에 대한 제어를 월등히 제어합니다. 유도 결합 플라즈마 (inductively coupled plasma) 및 물리적 증기 증착 (physical vapor deposition) 의 선택은 제어성이 매우 좋은 여러 기판의 더 큰 영역에 균일 한 에칭을 가능하게한다. 고급 ICP 소스는 뛰어난 프로세스 균일성과 반복성을 통해 높은 수준의 전원 제어를 제공합니다. 통합 다중 주파수 ICP 소스는 etching 프로세스에서 향상된 선택성 및 응답 시간을 제공하여 최대 60 ms의 빠른 반응 속도를 제공합니다. 고급 플라즈마 소스는 광범위한 프로세스 레시피를 가능하게하며, 탁월한 성능과 뛰어난 프로세스 다용성을 제공합니다. 또한, Producer SE는 프로세스 정확성과 반복성을 높이기 위해 높은 화면 비율 (Aspect Ratio) 에치 모듈을 갖추고 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE의 플로팅 챔버 디자인은 에칭 균일성을 향상시켜 균일 한 필름 및 시드 레이어로 뛰어난 성능을 제공합니다. 고급 챔버 설계 (Advanced Chamber Design) 는 또한 더 큰 워크로드를 지원하여 빠른 처리량과 높은 프로세스 용량을 제공합니다. 마지막으로 AMAT Producer SE는 운영 비용을 절감하면서 최첨단 구성 기능을 제공합니다. 고급 플라즈마 소스 (Plasma Source) 기술은 가동 중지 시간과 가동 중지 시간을 최소화하는 반면, 자동 교정 (Automatic Calibration) 및 무접촉 전극 튜닝 (Contactless Electrode Tuning) 과 같은 기능은 운영 속도를 높이고 유지 관리 비용을 절감합니다. 그 결과 APPLIED MATERIALS Producer SE는 운영 비용과 유지 보수 비용을 낮추면서도 탁월한 에칭 기능을 제공합니다.