판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9399987
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 탁월한 처리량 및 품질 증착을 제공하도록 설계된 고급 대용량 플라즈마 강화 화학 증기 (PECVD) 원자로입니다. SE (Super Edition) 는 AMAT, Inc.에서 제조 한 인기있는 "생산자" 시리즈 원자로의 최신 구성입니다. SE는 다양한 유전체, 반도체 재료, 금속 및 기타 필름을 정밀하게 증착 할 수있는 고급 필름 증착 (advanced film deposition) 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 매우 등각 된 필름과 핀홀 (pinhole) 또는 표면 결함이 없는 필름이 포함됩니다. SE는 고급 필름 증착 (advanced film deposition) 프로세스를 사용하여 하위 옹스트롬 계층 일관성과 예측 가능성을 통해 일관된 프로세스 전달을 보장합니다. SE는 또한 시간당 최대 10,000 웨이퍼의 대용량을 자랑하며, 이는 높은 처리량 증착을 허용합니다. 이는 반도체 웨이퍼 제작과 같은 대규모 생산 응용 분야에 이상적입니다. 또한, SE는 최고 0.5% 의 균일성을 가진 타의 추종을 불허하는 균일성 제어 기술을 제공하여 웨이퍼 표면에 배치 된 필름의 높은 반복성을 허용합니다. SE는 대용량 (high capacity) 및 필름 증착 품질 외에도 사용 편이성을 위해 설계되었습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 웨이퍼 온도, 기판 포지셔닝 및 기타 프로세스 매개변수를 손쉽게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한, SE는 현대의 다중 구역 챔버 아키텍처 (multi-zone chamber architecture) 를 특징으로하며, 챔버 전체에 걸쳐 신뢰할 수 있고 균일 한 플라즈마 밀도를 제공하여 세포에서 세포 간 간격 수준까지 균일성을 보장합니다. 전반적으로 AMAT Producer SE는 탁월한 처리량 및 품질 증착을 제공하도록 설계된 고급 PECVD 원자로입니다. 탁월한 균일성 제어, 고용량 및 사용 편이성을 제공합니다. SE는 반도체 웨이퍼 제작 및 기타 대규모 생산 용도에 이상적인 원자로입니다.
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