판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390849
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ID: 9390849
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
PECVD System, 12"
Process: APF
Load port type:
Enhanced 25
Wafer FOUP
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 208 AC, 3 Phase
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE는 반도체 칩 처리에 사용되는 매우 높은 진공, 터보 분자 펌핑, 다중실 원자로입니다. 이 제품은 3 인치에서 8 인치까지 다양한 웨이퍼 크기를 처리할 수 있도록 설계되었으며, 매우 높은 수준의 프로세스 제어를 통해 일관성 있고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. AMAT 생산자 SE 는 시간당 최대 200 개의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있어 대용량 생산에 이상적인 제품입니다. APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 및 정전 결합 플라즈마 (CCP) 프로세스를 위해 여러 RF 소스로 구성된 고급 플라즈마 처리 챔버를 특징으로합니다. 또한, 정확한 프로세스 제어를 위해 고감도 챔버 압력 모니터 (High Sensitivity Chamber Pressure Monitor) 와 디지털 압력 컨트롤러 및 밸브 (Valv) 를 통합합니다. 생산자 SE 에서 RF 소스의 높은 전력 밀도는 프로세스 유연성과 제어를 향상시킵니다. 또한, ICP 및 CCP 프로세스는 단일 RF 생성기를 사용하여 구동되어 다중 생성기의 필요성을 줄이고 시스템을 비용 효율적으로 만듭니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE 챔버에는 진공 확산 펌프가 장착되어 있어 펌프 다운 시간이 빠르고 진공 성능이 향상됩니다. 이 시스템은 또한 공정 히터 (process heater) 를 사용하여 민감한 프로세스에 대한 정확한 온도 제어를 지원합니다. 또한 AMAT Producer SE는 디워, 자동 압력 스위치 인터 록, 챔버 보호 장치 등 안전성을 향상시키는 몇 가지 기능을 제공합니다. 공정 모니터링을 위해 APPLIED MATERIALS Producer SE는 또한 대량 단편화 모니터, 분자 탐지 시스템, 광학 방출 탐지기와 같은 광범위한 도구 및 센서 제품군을 제공합니다. 이러한 툴에서 얻은 데이터는 프로세스를 최적화하고 수율을 향상시키는 데 사용될 수 있습니다. 또한 Producer SE는 다양한 진단 도구와 질량 분석기, 프로세스 모니터, 분광학 시스템, 누출 탐지기 등의 액세서리를 통합했습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 또한 작업을 지원하기 위해 다양한 고급 소프트웨어 패키지를 제공합니다. 이 소프트웨어는 사용하기 쉬운 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하며, 다양한 프로세스 단계의 성능을 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT Producer SE는 대용량 생산을 위해 설계된 고급, 고성능, 멀티 챔버 처리 플랫폼입니다. 첨단 기능과 포괄적인 소프트웨어 패키지를 갖춘 APPLIED MATERIALS Producer SE 는 탁월한 성능과 비용 효율성을 제공합니다.
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