판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390419

AMAT/APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE (Substrate Etch) 원자로는 실리콘 웨이퍼의 고급 에치 처리를 위해 설계된 최첨단 포토 리토 그래피 챔버입니다. 기질의 건조하고 습식 에칭이 가능하며, DRIE (deep reactive ion etch), ICP (inductively coupled plasma etch) 및 IBE (ion beam etch) 와 같은 광범위한 에치 응용 분야에 사용될 수 있습니다. AMAT Producer SE (생산자 SE) 에서 발견 된 첨단 기술은 오늘날 가장 강력한 에치 시스템 중 하나입니다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 독립 제어 포트와 독립 RF 소스에 의존하는 듀얼 월 오버 헤드 히터 (dual wall overhead heater) 설계를 활용하여 일관되고 정확한 온도 제어를 보장합니다. 이 독특한 특징은 원자로 (reactor) 가 온도의 불규칙성을 일으킬 수있는 아웃게싱 (outgassing) 또는 기타 열 현상을 방지함으로써 최적의 온도에 도달하고 유지 할 수 있도록 해줍니다. 독립적 인 오버 헤드 히터 (overhead heater) 는 전체 웨이퍼 전체에서 우수한 에치 균일성을 보장합니다. 생산자 SE의 또 다른 장점은 여러 웨이퍼를 동시에 처리하는 기능입니다. 이 시스템에는 6 개의 프로세싱 챔버 (processing chamber) 가 있으며, 보다 빠르고 경제적인 생산을 위해 여러 에치를 병렬로 수행 할 수 있습니다. 결과적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 대규모 생산 또는 대용량 어플리케이션에 적합합니다. AMAT Producer SE는 복잡한 정확한 에치 (etch) 작업을 처리 할 수있는 완전 자동화 된 공정 챔버를 갖추고 있습니다. 다중 에치 (etch) 작업을 정확하고 동시에 제어할 수 있는 다중 도구, 다중 레시피 컨트롤러 (multi-tool, multi-recipe controller) 가 장착되어 있습니다. 또한 고급 자동화 알고리즘과 닫힌 루프 프로세스 제어 (closed loop process control) 를 통해 균일 한 에치 프로세스를 보장합니다. APPLIED MATERIALS 생산자 SE (APPLIED MATERIALS Producer SE) 의 견고한 설계를 통해 온도, 압력 및 가공 가스를 정확하게 제어하여 최적의 에치 특성을 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 또한 최소한의 공구 시간과 유지 보수 (maintenance) 요구 사항으로 생산성 및 처리량을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 생산자 SE (Producer SE) 는 안정적이고 안정적인 프로세스 챔버를 제공하여 고객이 에치 (etch) 생산을 위한 최고의 성능과 신뢰성을 제공합니다. 고수율, 비용 효율적인 에치 프로세스를 추진하기위한 완벽한 선택입니다.