판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390416
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 얇은 필름의 대량 생산을 위해 설계된 플라즈마 (plasma) 원자로라고도하는 원자로 유형입니다. 이 플라즈마 원자로는 PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) 라는 공정을 사용하여 다양한 기질에 박막을 퇴적시킵니다. AMAT 생산자 SE 원자로는 완전한 시스템을 형성하기 위해 함께 작동하는 여러 가지 구성 요소로 구성됩니다. 시스템의 중심에는 유도 결합 된 RF 전원 공급 장치 (inductivally coupled RF power supply) 가 있으며, 이는 두 개의 평행 전극 사이의 전기장을 생성하는 데 사용됩니다. 이 전기 장 은 "플라즈마 '로 알려진 이온화 된" 가스' 를 반응 "챔버 '에 형성 시킨다. 혈장은 산소, 아르곤, 질소와 같은 반응물을 활성화시키는 데 사용되며, 이는 전구체 분자와 반응하여 웨이퍼에 얇은 필름을 생성합니다. 그런 다음 웨이퍼 (wafer) 를 별도의 챔버로 옮겨 모니터링하고 분석 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS (APPLIED MATERIALS) 생산자 SE 원자로에는 다양한 기능과 옵션이 장착되어 있어 다양한 어플리케이션이 가능합니다. 온도와 압력, 전력 (power) 을 정확하게 제어할 수 있는 다양한 센서와 컨트롤러가 장착되어 있어 박막 (thin film) 이 매우 균일합니다. 또한 와퍼를 반응 챔버 주위로 이동할 수있는 고정밀 동작 테이블 (high-precision motion table) 이 장착되어 있습니다. 이를 통해 단일 레이어, 다중 레이어, 박막 상의 스택 증착과 같은 다양한 재료 구성이 가능합니다. 생산자SE (원자로) 는 다양한 기능과 옵션 외에도 뛰어난 안전성을 제공한다. 고도로 통제 된 환경에서 작동하도록 설계되어 위험 증기 (dangerous vapor) 와 입자에 대한 연산자 노출을 최소화합니다. 또한 적절한 운영 및 지원을 보장하는 여러 안전 (Safety) 연동이 장착되어 있습니다. 이러한 안전 기능을 통해 AMAT/APPLIED MATERIALS 생산자 SE 원자로는 현재 시장에서 가장 안전하고 신뢰할 수있는 플라즈마 원자로 중 하나입니다. AMAT 생산자 SE 원자로는 다재다능하도록 설계되어 있으므로 유리, 플라스틱, 결정질, 다결정 재료 등 다양한 기판에 박막 (thin film) 을 증착시키는 데 사용될 수 있습니다. 또한 TCO (총소유비용) 가 적게 들도록 설계되었으며, 이는 박막의 대량 생산을위한 매력적인 옵션입니다. 이러한 기능은 안전 기능과 함께 APPLIED MATERIALS Producer SE 원자로 (APPLIED MATERIALS Producer SE Reactor) 를 박막 대량 생산을위한 주요 옵션 중 하나로 만듭니다.
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