판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9358626

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 복잡한 에칭 및 증착 공정을 제공 할 수있는 강력한, 업계 최고의 반도체 제조 원자로입니다. 원자로 (Reactor) 는 생산량이 증가하는 기능을 갖추고 있으며, 높은 처리량, 빠른 주기 시간, 강력한 용광로 성능을 제공합니다. 단일 웨이퍼 절연 모듈은 더 깨끗하고, 빠르며, 더 안정적인 증착 과정을 충족시키기 위해 기판 온도를 최대 70 ° C까지 낮춥니다. 이 고효율 원자로는 도량형 (metrology-enabled) 공정 제어를 제공하여 안정적인 웨이퍼 도핑, 증착 및 에칭 프로세스를 보장합니다. AMAT 생산자 SE는 에너지 비용을 절감하는 친환경적인 도구입니다. 또한, 이 시스템은 최소한의 유지 보수가 필요하며, 더 깨끗한 작동과 향상된 플라즈마 균일성 (plasma unifority) 으로 인해 수율이 향상됩니다. 이 도구에는 고급 연동 시스템 (Advanced Interlock System) 이 있으며, 이는 글로벌 안전 표준의 운영자 안전 및 준수를 위해 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 실시간 프로세스 최적화를 제공하는 AI 기반 센서 및 제어 패키지인 AMAT Edge TM을 특징으로합니다. "센서 '는 또한 심한 온도 혹은 유동 사건 으로부터 원자로 를 보호 해 주며, 이것 은 바람직 하지 않은 기판 의 손상 을 초래 할 수 있다. Edge TM 기술은 변화하는 프로세스 조건에 자동으로 적응하는 데이터 기반 머신 러닝 (machine learning) 알고리즘으로 구동됩니다. 생산자 SE 는 고급 프로세스 제어를 제공하여, 사용자가 온도, 압력, 흐름을 제어할 수 있도록 합니다. 원자로 는 공정 의 정확 한 온도 "프로파일 '을 제공 하는 고급 압력" 센서' 의 도움 으로 "가스 '횡단 온도 를 모니터링 할 수 있다. 또한, 이 원자로는 코어 중심 및 편심 웨이퍼 척 (eccentric wafer chuck) 시스템을 모두 갖춘 웨이퍼 수송 및 로딩을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 또한 전처리 및 후처리 작업을 단순화하는 가열식 웨이퍼 셔틀을 갖추고 있습니다. 이 정확하고 자동화된 웨이퍼 처리 시스템은 처리 된 모든 웨이퍼에서 균일성을 보장합니다. 3축 공정 챔버 이동은 증착, 균일 스캔, 웨이퍼 정렬 등에 대한 수평 및 수직 이동을 제공합니다. AMAT Producer SE는 에지 트리밍 및 코너 라운딩을 포함한 여러 가지 고급 포스트 프로세싱 옵션을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 디바이스 제조 능력 및 수익률을 향상시키는 포괄적인 접근 방식을 사용할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 생산자 SE 원자로에는 APPLIED MATERIALS 직관적인 사용자 인터페이스와 pGEM ™ GUI (Graphical User Interface) 소프트웨어가 함께 제공됩니다. 세심한 프로세스 개발 및 데이터 분석 기능을 통해 제조 효율성을 최적화할 수 있습니다. pGEM 의 경우, 연산자는 프로세스의 최적의 레시피를 빠르고 쉽게 선택할 수 있습니다. 전반적으로, 생산자 SE 원자로는 효율적인 기판 처리와 고품질 결과를 제공하는 고급적이고 강력한 반도체 제조 도구입니다. 최적화된 설계는 안전하고 경제적인 방식으로 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 보장합니다.