판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9354650

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 높은 처리량, 높은 생산 수익률 및 낮은 공정 변동성을 요구하는 작업을 위해 특별히 설계된 반도체 원자로의 한 유형입니다. SWCD (Single Wafer Centrifugal Deposition) 원자로는 높은 증착 선택성, 균일 한 레이어 구성 및 뛰어난 프로세스 반복성을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. AMAT Producer SE는 고 지향성 스퍼터링 장비 및 엔드 포인트 검출기 시스템을 통합하여 높은 증착 선택성 (deposition selectivity) 및 균일 한 레이어 구성을 제공합니다. 방향 스퍼터링 장치 (by-directional sputtering unit) 는 목표 표면에서 음전하와 양전하를 모두 생성하여 균일 한 박막을 생성합니다. 이것은 기존의 스퍼터링 시스템에 비해 더 많은 레이어 증착을 보장합니다. 종단점 탐지 장치 (End-Point Detection Machine) 를 사용하면 정해진 종점에서 자동 종료뿐만 아니라 추가 프로세스 제어를 수행할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Producer SE 증착 원자로에서 사용되는 원심 증착 (CD) 기술은 높은 처리량, 높은 생산, 낮은 프로세스 변동성 기술로, 기존의 스퍼터링에 비해 박막 증착 시간을 줄입니다. 이것은 박막 (thin-film) 을 퇴적시키는 동안 높은 각속도로 웨이퍼를 회전시켜 증착 균일성을 최대화함으로써 달성된다. 생산자 SE 원자로는 향상된 프로세스 자동화를 위한 고급 툴 아키텍처를 갖추고 있어 프로세스 주기 (process cycle) 가 단축됩니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE 원자로에는 온도, 압력, RF 전력, 유속 등 모든 주요 작동 매개변수에 대한 정확한 제어를 제공하는 가변 주파수 드라이브가 있습니다. 원자로는 또한 정밀하고 안정적인 유속 (flow rate) 을 허용하는 강력한 재료 전달 시스템을 갖추고 있으며, 잠재적 변동성을 최소화하면서 높은 증착률을 제공합니다. 요약하자면, AMAT Producer SE는 높은 증착 선택성 및 공정 반복성을 위해 설계된 고급 기술을 갖춘 원심 증착 원자로입니다. 이 기술은 견고한 전달 시스템과 결합하여 최고의 생산 수익률 (production revield), 균일성 (unifority), 프로세스 주기 (process cycle) 를 보장합니다.