판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9351469

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 반도체 장치 및 부품 제작에 사용되는 박막 증착을 위해 특별히 설계된 원자로입니다. 이 원자로 는 여러 가지 기술 을 이용 하여 "반도체 '를 구성 하는 박막 을 만든다. 여기에는 PVD (physical vapor deposition) 또는 증발, CVD (chemical vapor deposition) 또는 중간 물질을 사용하여 박막을 생성하고, ALD (atomic layer deposition) 또는 기질의 여러 원자의 조합을 통한 박막 성장. AMAT 생산자 SE의 중심에는 공정 챔버가 있습니다. 이 "챔버 '는 제조 공정 에 사용 될 여러 가지 기판 을 보유 하도록 설계 되었다. 방은 또한 박막 (thin film) 의 증착이 이루어질 수있는 통제 된 환경을 제공합니다. 챔버의 주요 구성 요소는 전원 공급 장치, 광학 피로미터, 진공 부품 등입니다. 또한, 챔버에는 공정 모니터링 장비 (process monitoring equipment) 와 안전 인터 록 (safety interlock) 이 포함되어 있어 공정 챔버 및 해당 구성 요소가 손상될 수 있는 우발적 과압을 방지합니다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 박막의 안정적이고 정확한 증착을 위해 PVD 및 CVD 기술을 사용합니다. PVD는 기판에 증착 될 물질의 증발에 의존하는 반면, CVD는 중간체 (intermediates) 를 사용하여 박막 (thin film) 을 만듭니다. 증착 과정에서 소스 (source) 재료에 전원이 가해지며, 이어서 기판에 원하는 박막 (thin film) 을 생성합니다. 또한, ALD는 기판에 여러 원자를 결합하여 박막을 만드는 데 사용된다. 이것 은 일련 의 단계 로 행해져, 원하는 "박막 '을 형성 하게 된다. 증착 과정을 정확하게 제어하기 위해 Producer SE 는 다수의 광/전기 시스템을 사용합니다. 여기에는 높은 처리량 광학계 (optical pyrometer) 와 프로세스 모니터링 시스템 (process monitoring system) 과 같은 광학이 포함됩니다. 또한, 원자로는 다양한 센서와 인터 록 (interlock) 을 사용하여 챔버와 그 구성 요소를 손상으로부터 보호합니다. 여기에는 압력 센서, 온도 센서 및 현재 과부하 보호 시스템이 포함됩니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 반도체 장치 및 부품 제조에 사용되는 박막 (thin film) 을 배치하도록 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 원자로입니다. PVD, CVD, ALD 등 다양한 기술을 활용하여 기판에 박막 (thin film) 을 정확하고 일관되게 증착합니다. 또한, 시스템은 정확한 프로세스 제어를 제공하기 위해 다양한 광 및 전기 부품을 포함합니다. 마지막으로, 원자로에는 공정 챔버 및 그 구성 요소의 과압류를 방지하기 위해 안전 인터 록 (safety interlock) 이 포함되어 있습니다.