판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9315106

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (Spin-on Epi) 원자로는 산업 및 연구 응용 프로그램 모두에서 박막을 퇴적시키는 데 사용되는 최첨단 epi 퇴적 시스템입니다. AMAT Producer SE는 쉽게 확장 가능한 모듈을 활용하는 혁신적인 새로운 디자인을 갖추고 있습니다. 이를 통해 증설 프로세스를 맞춤형으로 구성하고, 유연성, 품질, 비용 효율성을 극대화할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 직접 웨이퍼-투-웨이퍼 (direct wafer-to-wafer) 제조를 지원하므로 클린 룸 환경에 들어가지 않고 처리 챔버 간의 기판을 직접 전송할 수 있습니다. 원자로는 기존 업스트림 (upstream) 및 다운스트림 (downstream) 프로세스와 상호 작용하여 완전히 통합 된 박막 증착 솔루션을 제공 할 수 있습니다. 원자로 챔버는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 한 번에 최대 2 개의 웨이퍼를 증착하도록 설계되었습니다. 5 × 10-7 Torr의 낮은 진공 수준으로 밀봉되며 2 구역 또는 3 구역 기판 가열을 사용합니다. 2-zone 옵션은 단일 카세트 전송을 지원하는 반면, 3-zone 옵션은 2 개의 카세트를 동시에 양방향 카세트-카세트 전송을 지원합니다. 생산자 SE (Producer SE) 의 핵심은 증착 소스 모듈로, 모든 종류의 증착 재료를 보편적으로 수용하도록 설계되었습니다. 소프트웨어 제어 소스 모듈은 간단한 ALD (Atomic Layer Deposition) 에서 복잡한 시간 시퀀싱 다중 단계 프로세스에 이르기까지 다양한 프로세스 시퀀스를 지원합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 또한 뛰어난 현장 모니터링 및 제어 시스템을 갖추고 있으며, 최종 사용자는 비상 사태의 경우 알람 기능과 함께 실제 실시간 폐수 제어를 검토 할 수 있습니다. 또한, 원자로에는 다양한 박막 응용 프로그램의 표준 레시피에 액세스하는 데 사용되는 고급, 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 원격 워크스테이션에서 실제 배치 (deposition) 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 사용자 정의 레시피를 지원하는 것 외에도 AMAT Producer SE는 SiN, SiC, SiOx, 질화물, 유전체 및 기타 여러 영화를 포함하여 인기있는 응용 프로그램에 대해 400 개가 넘는 사전 정의 된 장비 별 레시피를 제공합니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Producer SE는 중소기업 및 대기업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 최고의 비용 효율적인 원자로입니다. 운영 용이성, 탁월한 씬 필름 (Thin Film) 증착 성능, 다양한 애플리케이션 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 유연성을 갖추고 있습니다. 또한, 실시간 모니터링/제어 시스템은 신속한 프로세스 최적화 및 품질 보증을 지원하므로, 연구/산업 어플리케이션 모두에 이상적인 선택이 됩니다.