판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9294355

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 반도체 연구원, 제조업체 및 학술 사용자를 위해 설계된 최첨단 에피 택시 증착 장비입니다. 정확한 제어 및 현장 모니터링 기능과 결합된 광범위한 증착/에치 (etch) 프로세스를 제공합니다. 이 시스템에는 에피 택시 화학 증기 증착 (E-CVD) 챔버와 유전체 에치 챔버가 장착되어 있습니다. AMAT 생산자 SE는 SiO2 및 Si3N4뿐만 아니라 GaAs 및 InP와 같은 다양한 III-V 재료를 기탁 할 수 있습니다. 증착 과정은 고효율 히터 (heater-efficiency heater) 에 의해 지원되어 고품질 에필레이어를 달성하기 위해 성장 중 열 왜곡을 최소화합니다. 챔버는 넓은 영역 (최대 4 인치 웨이퍼 직경) 에 균일 한 증착을 제공하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE (APPLIED MATERIALS Producer SE) 에는 증착 과정에서 레이어의 내부 특성화를위한 고급 전용 epi-monitor 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 LIV 또는 IV (Laser Induced Current Voltage), Ion Channeling, Photoluminescence (PL) 및 AFM (Atomic Force Microscopy) 과 같은 여러 직교 현장 마이크로 분광법 기술이 포함됩니다. 이를 통해 에피택셜 (epitaxial) 성장 프로세스를 실시간으로 제어할 수 있으므로 전체 기판에서 레이어 품질과 균일성을 최적화할 수 있습니다. 또한, 공구에는 광범위한 호환 가능한 에치 가스 (etch gase) 가스가있는 원격으로 제어 된 유전체 에치 챔버가 장착되어 있습니다. 이 "챔버 '는 직접" 플라즈마' 의 원천 을 갖추고 있어서 가공 "가스 '흐름, 식기 동력 및 기판 온도 를 정확 히 제어 할 수 있다. 이를 통해 높은 종횡비 응용을위한 Oxynitride, SiO2 및 Si3N4와 같은 다양한 유전체 물질을 정확하게 에칭할 수 있습니다. 생산자 SE (Producer SE) 는 사용이 간편하고 신뢰성이 뛰어난 자산으로, 탁월한 프로세스 제어 및 계층 특성화 기능을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 사내 모니터링 기능과 결합된 고정밀 에치 (etch) 및 증착 기능으로, 대규모로 고품질 에피택시 레이어를 생산해야 하는 연구원 및 제조업체에 이상적인 도구입니다.