판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9284854
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판매
ID: 9284854
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
SACVD system, 12"
Process: BPSG
(3) Twin CVD chambers
(2) Foup loader ports
Signal tower: 4 Color
MKS and ASTEX Plasma clean
AC Control rack
Generator rack
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Gases:
TEOS
TEB
TEPO
LDC
Power supply: 208VAC, 50/60Hz, 3 Phase
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 반도체 장치 제조를 위해 설계된 혁신적인 고급 원자로입니다. 이 독립형 장비는 MOCVD (Active Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 챔버, 인접한 비활성 부산물 챔버 및 다중 가스 소스의 세 가지 구성 요소로 구성됩니다. MOCVD 챔버 (MOCVD Chamber) 는 고품질 반도체 필름을 재배하고 고급 온도 제어를 통해 재료의 열 역사를 제어하도록 설계되었습니다. 비활성 부산물 챔버 (inert by-products chamber) 는 배기 시스템을 통해 안전하게 제거되기 전에 유해 기화 물질을위한 안전한 격리 공간을 제공합니다. 멀티 가스 소스 (multi-gas source) 는 기판에 에피 택시 물질을 침전시키는 데 필요한 가스를 제공합니다. AMAT 생산자 SE 원자로는 기존 MOCVD 시스템과 구별되는 여러 특허 기술로 설계되었습니다. 여기에는 빠른 응답 및 최적의 프로세스 온도를 보장하는 고급 온도 제어 장치 (temperature control unit) 가 포함됩니다. 최소 가스 소비로 더 큰 화학 반응성을 위해 구성된 독특한 석영 돔; 균질성 향상을위한 3 중 수직 온도 영역; 유해 물질을 효율적으로 제거 할 수있는 고급 배기 기계. 이 아트 툴 상태에는 다양한 진단 도구 (Diagnostic Tools) 와 대화형 컨트롤러 (Interactive Controller) 가 포함되어 있어 정확한 모니터링 및 제어가 가능합니다. APPLIED MATERIALS 생산자 SE는 반도체 생산에 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 제품은 탁월한 정확도와 반복성을 자랑하며, 오류를 줄이고 생산량을 증가시키는 데 도움이 됩니다. DFS (Design-for-Semiconductor) 개념은 MOCVD 프로세스 중 온도에 대한 최적의 제어를 제공하여 프로세스 조건과 환경에 관계없이 최고 품질의 필름을 보장합니다. 이 자산은 또한 정확한 두께, 모양 및 결정 구조를 가진 에피 택시 (epitaxial) 구조를 형성 할 수 있습니다. 생산자 SE 는 전반적으로 반도체 생산의 엄격한 요구를 충족시킬 수 있는 첨단 원자로다. 독보적인 기능은 탁월한 필름 품질, 엄격한 열 관리, 신속한 처리 시간, 저비용 작동을 보장합니다. 또한 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 과 컨트롤러 (Controller) 를 사용하면 정교한 장치 연구 및 제작을 위한 효율적이고 안정적인 툴을 만들 수 있습니다.
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