판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9284255

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9284255
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
CVD System, 12" 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 반응 챔버 (reaction chamber) 또는 반응기로, 에칭 및 증착 공정에서 뛰어난 균일성을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 건식 에칭, 물리적 증기 증착 (PVD), 원자층 증착 (ALD) 및 화학 증착 (CVD) 을 포함한 광범위한 증착/에치 프로세스에 적합합니다. 원자로는 2 개의 플라텐 챔버 (platen chamber) 또는 난방 구역 (heating zone) 으로 구성된 독특하고 특허를받은 "복합 기판" 디자인을 사용하여 초박막 증착 및 에치 처리에서 균일성을 향상시키는 탁월한 프로세스 제어를 가능하게합니다. 각 챔버의 온도와 압력을 독립적으로 제어함으로써 AMAT 생산자 SE (AMAT Producer SE) 는 전체 기판에서 균일하고 일관된 결과를 유지하는 데 도움이됩니다. 또한 정확한 platen-to-platen 정렬 및 장기 작동 성능을 보장하는 고급 와인딩 메커니즘이 있습니다. 자동화된 프로세스 제어 시스템 (Automated Process Control System) 을 통해 정확한 실시간 데이터 모니터링이 가능하므로 프로세스 매개변수가 시간에 따라 일관되게 유지되고 기판 특성이 최적화됩니다. APPLIED MATERIALS 생산자 SE (APPLIED MATERIALS Producer SE) 는 다양한 증착 및 에치 어플리케이션에 적용할 수 있는 기능 외에도 사용자 경험을 최적화하도록 설계되었습니다. 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (GUI) 를 통해 편리하고 운영 및 처리 시간을 최소화할 수 있습니다. 또한 고정밀도 (high-precision) 스테이지 동작 및 모션 제어 기능을 사용할 수 있으므로 수백 가지의 매우 정확하고 반복 가능한 프로세스 단계를 수행할 수 있습니다. 또한 생산자 SE는 제조 처리량 및 프로세스 생산량을 극대화할 수 있습니다. 고급 알고리즘 (Advanced Algorithm) 을 활용하여 사용자는 업계에서 유례없는 프로세스 반복성을 달성할 수 있습니다. 분할 챔버 (split chamber) 설계는 챔버 온도 및 압력의 제어성을 향상시켜 더욱 일관된 에치 (etch) 및 증착 프로파일을 생성합니다. 원자로 (Reactor) 는 시간당 최대 50 프로세스의 처리율을 제공할 수 있으므로 대용량 어플리케이션에 적합합니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 고도로 안정적이고 다재다능한 원자로입니다. 차세대 에치 (etch) 및 증착 (deposition) 기능뿐만 아니라 탁월한 프로세스 균일성, 제어 기능을 제공하여 사용자는 애플리케이션에서 가장 높은 수익률과 품질을 얻을 수 있습니다. 수많은 기능으로 인해 처리 요구 사항에서 탁월한 성능과 생산성 (productivity) 을 추구하는 사람들에게 이상적인 선택이 됩니다.
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