판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9281300
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AMAT/APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE 원자로는 반도체 제조를 위해 특별히 설계된 단일 웨이퍼 가스 클러스터 이온 소스 반응성 이온 에처 (RIE) 입니다. 이 장비는 하이퍼 필드 유도 비 방해 플라즈마 흐름, 고이온 밀도, 균일 한 플라즈마 에너지 분배를 기반으로 회사의 최첨단 플라즈마 생성 및 제어 기술을 통합하여 프로세스를 개선합니다. 저임피던스 MAI (magnetically assisted ionization) 기술을 통해 프로세스 유연성을 높이고 성능을 향상시킬 수 있습니다. 이 시스템은 또한 ac 유도 결합 소스로 인해 뛰어난 생산성을 가지고 있습니다. 고급 PC 기반 장비 인터페이스와 함께 AMAT Producer SE는 완전 자동화 장비 제어 및 여러 사용자 기능을 결합합니다. 고급 프로세스 최적화 (Advanced Process Optimization) 기능을 통해 레시피 설정 및 운영 개선에 필요한 시간과 자원을 대폭 줄일 수 있습니다. 이것은 가스 흐름 비율, 압력, 온도, 타이밍 등의 매개변수를 제어하는 정교한 소프트웨어 응용 프로그램을 통해 활성화됩니다. FEOL (Front End of Line) 배치 임플란트 및 etch 프로세스 기능은 매우 쉽게 사용할 수 있으며 다양한 화학 증기 증착, 이온 이식 및 이식 후 에치 응용에 적용 될 수 있습니다. 응용 재료 생산 업체 SE (APPLIED MATERIALS Producer SE) 에는 높은 이온 밀도를 제공하는 강력한 독립적 인 하중 잠금 결정 이온 총 어셈블리가 장착되어 있습니다. 특허를받은 SE의 close-coupled 고속 가스 전달 장치는 고정밀 프로세스 제어를 위해 정확한 가스 비율을 제공합니다. 고유 한 이중 모드 임플란테이션은 에칭 (etching) 및 임플란테이션 시퀀스가 동시에 발생할 수 있도록 함으로써 프로세스를 가속화합니다. "플라즈마 '상태 를 자동적 으로 조정 하여 효율성 을 극대화 하는 RIE" 가스' 펄스 머신 의 빠른 반응 시간 에 의하여 생산성 이 더욱 향상 된다. 생산자 SE (Producer SE) 의 이중 및 분할 모드 기판 처리 도구는 다양한 챔버 구성을 선택하는 옵션을 통해 전례없는 유연성을 제공합니다. 이 자산은 또한 ProPlasma를 통해 고급 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. ProPlasma는 플라즈마 특성, 에치 프로세스 성능, 원자 종 구성에 대한 실시간 데이터를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE (AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE) 는 효율적이고 고품질, 비용 효율적인 생산을 위해 반도체 제조업체의 요구를 충족시키기 위해 개발된 안정적이고 검증된 도구입니다. 고급 기능 및 제어 기능을 갖춘 SE는 오늘날의 복잡한 디바이스 구성 요구 사항에 적합한 경제적인 솔루션을 제공합니다 (영문).
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