판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9281298

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (AMAT) 는 집적 회로 제작에 사용되는 대용량 패턴 처리 프로세스를 위해 설계된 반도체 에치 원자로입니다. 이 제품은 고도로 진보된 장비로, 수율과 처리량을 향상시키도록 설계된 다양한 정교한 기능을 갖추고 있습니다 (영문). AMAT 생산자 SE는 고급 HiTEC 챔버를 보유하고 있으며, 이는 등방성 에치, 이방성 에치, 스퍼터 에치, 증착 등 광범위한 프로세스를 지원할 수 있습니다. 각 프로세스의 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있는 '운영 범위 (operational range)' 가 넓습니다. 또한 스테이션 간 웨이퍼 및 부품 이동을위한 로봇 암 어셈블리, 고급 역 웨이퍼 운송 장비 및 전체 프로세스 자동화를 위해 APPLIED MATERIALS Apex 생산 제어 시스템 (APPLIED MATERIALS Apex production control system) 이 있습니다. APPLIED MATERIALS 생산자 SE는 여러 가지 고급 프로세스 제어 옵션을 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 특정 요구 사항에 맞게 프로세스를 구체화할 수 있습니다. 여기에는 가스 흐름 제어, 온도 조절, RF 바이어스 및 기타 중요한 매개 변수가 포함됩니다. 이는 에치 (etch) 및 증착 프로세스를 최적화하는 한편, 여전히 높은 수율과 처리량을 제공합니다. 생산자 SE 는 광범위한 프로세스 환경에서 실행되도록 설계되었습니다. 신뢰할 수있는 작동을 보장하기 위해 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 고도유체관리· 습도제어 등 사고방지를 위한 "통합안전장치 '를 갖추고 있다. 자동 오염 제어는 깨끗하고 먼지가없는 프로세스 환경을 유지합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 배치 및 펄스 프로세스를 모두 실행할 수 있습니다. 배치 프로세스에는 한 번에 처리되는 여러 배치 웨이퍼가 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 AMAT Producer SE의 처리량을 활용하는 한편, 높은 수율을 얻을 수 있습니다. 펄스 (Pulse) 흐름 프로세스를 통해 사용자는 단일 패스에 여러 레이어를 에치 (etch) 하거나 배치할 수 있으며, 다중 레이어 구조를 생성하는 데 적합합니다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 200mm ~ 300mm 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 이는 대용량 집적 회로 생산에 이상적입니다. 이 기계는 또한 웨이퍼 처리를 위해 다양한 표준 로드 포트를 지원합니다. 생산자 SE는 강력하고 신뢰할 수있는 에치 및 증착 도구입니다. 다양한 프로세스 옵션과 고급 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있습니다. 다양한 기판 크기를 처리할 수 있으며, 사용자에게 유연성과 높은 처리량을 제공합니다. 단순한 사용자 인터페이스와 뛰어난 신뢰성을 결합한 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 대용량 반도체 생산에 적합합니다.