판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9275287
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ID: 9275287
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
CVD System, 12"
(3) Twins
Process: HT SiN
OS
FES (CGA)
RPC
NPP
Throttle valve
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 반도체 제조 산업에 사용하도록 설계된 CVD (Art Chemical Vapor Deposition) 원자로의 상태입니다. AMAT 생산자 SE는 ICP (inductively coupled plasma) 소스와 여러 열원을 사용하여 산화물, 질화물 및 금속을 포함하는 다양한 물질을 기판에 증착시키는 단일 웨이퍼 생산 원자로입니다. 독특한 디자인은 단일 웨이퍼 프로세싱과 고온 CVD를 결합하여 뛰어난 균일성과 뛰어난 생산성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Producer SE는 ICP 소스, 가스 전달 시스템, 여러 기판을 보관하는 포탑 및 열 소스를 포함한 여러 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. ICP 소스는 반응 챔버에서 가스를 이온화하는 데 사용되는 유도-결합 된 고주파 코일 (inductively-coupled high-frequency coil) 로, 기판의 물질을 반응시키고 퇴적시키는 데 사용된다. "가스 '전달 장치 는 증착 반응 을 수행 하는 데 필요 한" 가스' 를 공급 하고, "터렛 '은 증착 물질 을 공급 할 기질 을 보유 한다. 마지막으로, 열원은 증착 반응을 시작하고 가속화하는 데 필요한 에너지를 제공한다. 생산 업체 SE (Producer SE) 는 열 안정 박막 증착, 나노 입자 증착, 광학 박막 증착 등 다양한 증착 응용 분야에 사용될 수 있으므로 매우 다재다능합니다. 이 제품은 세 가지 모델 (SE 75, SE 100 및 SE 150) 로 제공되므로 다양한 웨이퍼 크기와 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 에너지 효율적이고 친환경적이며, 프로세스 가스와 에너지가 추가로 필요하며, 프로세스 안정성과 생산성도 향상됩니다. 또한, AMAT Producer SE는 제어 가스 흐름, 공정 챔버 보호 가스 유입, 밀봉 된 기판 저장 공간, 비상 정지 기능 등 많은 안전 기능을 갖추고 있으므로 운영자 안전을 극대화하도록 설계되었습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Producer SE는 반도체 제작 산업에 사용하도록 설계된 강력하고 다재다능한 CVD 원자로입니다. 혁신적인 설계로 통일성 (unifority) 과 생산성 (productivity) 이 향상된 단일 웨이퍼 (wafer) 처리가 가능하여 고수율 고급 재료를 생산하기에 이상적인 제품입니다.
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