판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9274481

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 다양한 공정 기하학에서 유전체, 금속 및 기타 재료를 기판으로 증착 할 수있는 고성능 증착 장비입니다. 이 시스템은 독점적 인 멀티 소스 플랫폼을 사용하여 모든 프로세스 단계에서 뛰어난 균일성, 온도 균일성, 속도 일치 및 반복 성을 제공합니다. 이 제품은 물리적 증기 증착 (PVD), 스퍼터 증착 (sputter deposition) 및 화학 증착 (chemical vapor deposition) 을 포함하여 여러 프로세스가있는 생산 라인에 사용하도록 설계되고 완전히 자동화되었습니다. AMAT 생산자 SE는 매우 낮은 기판 오염 및 웨이퍼 투 웨이퍼 비 균일성을 가능하게하면서 높은 처리량, 반복 가능성 및 제어 정확성을 보장합니다. APPLIED MATERIALS Producer SE 플랫폼은 메인프레임, 증발기, 스크러버 및 전원 공급 장치를 포함한 여러 모듈로 구성됩니다. 메인프레임 (Mainframe) 은 플랫폼의 중앙 제어 장치 (Central Control Unit) 역할을 하며 전체 시스템을 제어하는 컴퓨터와 소프트웨어로 구성됩니다. 증발기 모듈은 웨이퍼 표면 증착 (wafer surface deposition) 에 사용되며, 이는 표준 산업 등급 구성 요소를 사용하여 일관된 처리량 및 프로세스를 제공하며, 뛰어난 기판 균일성을 달성합니다. 스크러버 모듈 (scrubber module) 은 다양한 프로세스를 수용하기 위해 프로세스 챔버의 배기 청소에 사용됩니다. 전원 공급 장치 모듈은 증발기 모듈의 전원을 제어하는 데 사용됩니다. 이 툴에는 또한 프로세스 유연성, 반복 가능성, 정확한 제어를 극대화하는 여러 기능이 포함되어 있습니다. 에셋에는 개방형 목욕 설계, 여러 프로세스 오븐, 고급 웨이퍼 리프팅 기능이 장착되어 있습니다. 다중 소스 플랫폼 (Multiple-source platform) 을 사용하면 여러 재료 레이어를 단일 패스로 배치하여 최대 증착률을 제공합니다. 이 모델은 또한 조정 가능한 입자 필터링 기능을 제공하여 자체 제한 증착 공정의 균일성을 보장합니다. 또한, Producer SE는 고유 한 교정 기능을 가지고 있으며, 이를 통해 증발 속도, 두께 균일성 및 증착 품질을 정확하게 제어 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 매우 다양하며 디스플레이 기술, 반도체 상호 연결, 자기 기록 미디어, 박막 응용 프로그램 등 다양한 응용 프로그램에 걸쳐 최적의 증착 결과를 제공 할 수 있습니다. 이 장비는 신뢰성이 뛰어나며, 시스템 전체에 뛰어난 내결함성 (fault-tolerance) 이 통합되어 있으며, 가장 정확한 증착 결과를 보장하기 위한 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 제공합니다. 그 결과, AMAT Producer SE는 뛰어난 성능과 반복성을 제공하여 대용량 운영 환경에 적합합니다.