판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9258633

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 반도체 산업의 광범위한 재료를 에칭하도록 설계된 RIE (Advanced Reactive Ion Etching) 장비입니다. 두 가지 기술, 즉 고급 플라즈마 소스와 고급 에칭 소스를 하나의 통합 패키지에 결합합니다. 고급 플라즈마 소스 (Advanced Plasma Source) 는 뛰어난 프로세스 균일성으로 높은 처리량을 생산할 수있는 반면, 고급 에칭 소스 (Advanced Etching Source) 는 다양한 절연체 및 도체 재료를 높은 종횡비로 가져올 수 있습니다. RIE 시스템은 공정 가스 (process gas), 산화 가스 (oxidizing gas) 및 반응성 가스 (reactive gas) 를 포함하여 다양한 가스를 에칭 챔버에 도입함으로써 작동합니다. 이 "가스 '혼합물 은 고주파 전기장 과" 플라즈말랩' 전기원 을 적용 하여 "이온화 '되는데, 이것 은" 에칭' 실 에 균일 한 전기장 을 만들어 에칭 '속도 를 증가 시킨다. 일단 "가스 '의 혼합물 이 이온화 되면, RF 발전기 는 고전압" 이온 스퍼터' 를 생성 하는 데 사용 되며, 그 다음 에 "이온 '을 정력적 으로 이용 하여 공작물 을 폭격 하는 데 사용 된다. 이 폭격 은 가공소재 의 표면 에서 원치 않는 물질 을 제거 하여, 정형 에칭 (etching) 을 한다. AMAT Producer SE는 에칭 프로세스를 최적화하고 생산성을 향상시키는 고급 컴퓨터 제어를 제공합니다. 자사의 소프트웨어를 사용하면 에칭 (etching) 프로세스를 완전히 자동화하여 프로세스 제어를 강화하고 반복 기능을 향상시킬 수 있습니다. 프로그래밍 가능한 매개변수를 통해 다른 재료 및 형상에 대해 에칭 프로세스를 미세하게 조정하여 프로세스 재생성 (process reprodibility) 을 향상시키고 수율을 크게 높일 수 있습니다. 통합 프로세스 레시피 메모리 (Integrated Process Recipe Memory) 를 사용하면 다른 에칭 시퀀스에 대한 빠른 프로세스 설정 변경이 가능하므로 연산자 오류가 발생하지 않습니다. APPLIED MATERIALS 생산자 SE (APPLIED MATERIALS Producer SE) 는 에칭 기능 외에도 원자 층 증착 (ALD) 과 같은 플라즈마 보조 증착 프로세스를 제공하여 박막 증착을 높이며 복잡한 게이트 구조와 장치를 만들 수 있습니다. 이 고급 기능의 다기능 장치는 주기 시간을 크게 줄이고, 생산성을 높일 수 있으며, 프로세스 정확성과 일관성을 보장합니다. 생산자 SE (Producer SE) 는 광범위한 RIE 기계로, 프로세스 균일성이 뛰어난 다양한 재료를 에칭할 수 있습니다. 전통적인 습식 (wet etch) 공정을 사용하여 선택할 수 없는 선택성 (selectivities) 과 종횡비 (aspect ratio) 를 사용하여 고품질, 반복 가능한 구조를 만드는 데 이상적인 도구입니다. 또한, 다른 재료, 형상, 증착에 대한 에칭 매개변수를 세밀하게 조정하여 프로세스 제어, 반복 가능성, 수율 증가를 높일 수 있습니다. 이러한 기능을 통해 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 반도체 에치 어플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다.