판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9258533

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE는 고급 기판 증착을 위해 설계된 400mm 전자 빔 증발기 장비입니다. 정확하고 반복 가능한 용량 제어를 갖춘 고출력 전자 빔 소스 (high-power electron beam source) 를 갖춘 가장 고급 증착 도구 중 하나입니다. 이 시스템은 분당 최대 600 개의 옹스트롬 (angstrom) 의 인상적인 증착률을 가지고 있으며, 이는 모든 유형의 박막 응용 프로그램에 이상적입니다. 또한, 최대 500mm 웨이퍼를 수용할 수있는 큰 챔버 크기가 있으며, 로드 및 언로드 작업을 단순화합니다. 강력한 빔 소스 (beam-source) 및 챔버 (chamber) 설계는 턴키 작동과 자동화 친화적 인 인터페이스와 결합하여 안정적이고 일관된 박막 증착을 제공합니다. AMAT Producer SE는 EPM (Enhanced Process Monitoring) 을 활용하여 일관된 제품 구축 및 품질을 보장합니다. EPM 장치는 증착률, 증착 균일성 및 용량 제어를 모니터링하여 프로세스 정확성을 보장합니다. 따라서 각 wafer 및 lot 간의 균일성이 보장되므로 사용자가 결과를 신뢰할 수 있습니다. 또한, 분수 모니터는 프로세스 제어를 0.1% 까지 강화하고, 보다 일관된 제품을 만들고, 프로세스 변동성을 줄입니다. 마지막으로 APPLIED MATERIALS Producer SE는 PLM (Predictive Learning and Monitoring) 을 통해 잠재적 인 이상을 미리 진단하여 다운타임 및 생산 지연을 줄입니다. 이 기계는 또한 최신 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있으며, 모든 규제 표준을 충족 할 수 있습니다. 여기에는 3 단계 TFOSD (Front Opening Safety Door) 도구, 안전 에지 정지 메커니즘, DSA (Distributed Asset Architecture) 및 IAGS (Inert Argon Gas Filling Model) 가 포함됩니다. 말할 것도없이 SWIM (Selectable Wafer Identification Mode) 및 OEEM (Overall Equipment Effectiveness Monitor) 과 같은 사용자 친화적 인 기능이 있습니다. 이 모든 기능을 결합한 생산자 SE (Producer SE) 는 오늘날 시장에서 가장 발전된 반도체 증착 시스템 중 하나입니다.